广东工业大学王成财获国家专利权
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龙图腾网获悉广东工业大学申请的专利一种具有栅极热电子阻挡结构的氮化镓功率器件及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121645937B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610155481.6，技术领域涉及：H10D30/47；该发明授权一种具有栅极热电子阻挡结构的氮化镓功率器件及其制备方法是由王成财;戎迁雨;张紫辉;贺致远设计研发完成，并于2026-02-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有栅极热电子阻挡结构的氮化镓功率器件及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种具有栅极热电子阻挡结构的氮化镓功率器件，包括自下而上依次设置的衬底层、缓冲层、沟道层以及势垒层；势垒层上方依次设置有第一P型材料层、热电子阻挡结构层、第二P型材料层以及栅极金属；所述势垒层两端分别设置有源极金属和漏极金属。所述势垒层上方、源极金属部分侧壁、漏极金属部分侧壁、第一P型材料层侧壁、热电子阻挡结构层侧壁、第二P型材料层侧壁以及栅极金属部分侧壁均覆盖有钝化层。本发明在p‑GaN栅氮化镓功率器件中引入热电子阻挡结构，能够有效阻止热电子的运动过程，从而显著降低其对栅极肖特基结的轰击损伤，提升器件可靠性。
本发明授权一种具有栅极热电子阻挡结构的氮化镓功率器件及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种具有栅极热电子阻挡结构的氮化镓功率器件，其特征在于， 所述氮化镓功率器件包括自下而上依次设置的衬底层、缓冲层、沟道层以及势垒层； 所述势垒层上方中部依次设置有第一P型材料层、热电子阻挡结构层、第二P型材料层以及栅极金属；所述势垒层上方两端分别设置有源极金属和漏极金属；所述热电子阻挡结构层由周期交替堆叠的氮化镓材料层与夹层结构材料层构成，两层氮化镓材料层与位于中间的夹层结构材料层共同构成一个周期；所述氮化镓材料层为非故意掺杂，所述夹层结构材料层为铟镓氮材料层；所述热电子阻挡指通过吸收热电子的形式进行热电子阻挡； 所述势垒层上表面、源极金属部分侧壁、漏极金属部分侧壁、第一P型材料层两侧、热电子阻挡结构层两侧、第二P型材料层两侧均覆盖有钝化层，所述栅极金属两侧部分覆盖有钝化层。
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