天津吉兆源科技有限公司李树瑜获国家专利权
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龙图腾网获悉天津吉兆源科技有限公司申请的专利一种半导体设备、微波远程等离子体反应腔室及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121728648B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610226731.0，技术领域涉及：H05H1/46；该发明授权一种半导体设备、微波远程等离子体反应腔室及装置是由李树瑜;赵海智;王超设计研发完成，并于2026-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体设备、微波远程等离子体反应腔室及装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体设备、微波远程等离子体反应腔室及装置。微波远程等离子体反应腔室包括：反应腔体，包括进气口和出气口；液冷保护罩，位于所述反应腔体的外壁侧，所述液冷保护罩的内部设有多条串联连通的液冷通道，所述液冷保护罩上设有与所述液冷通道连通的进液口和出液口；微波放电组件，位于所述反应腔体的外侧，用于接收微波能量以电离所述反应腔体内的工艺气体；第一同轴接口，所述第一同轴接口的输出端与所述微波放电组件电连接，所述第一同轴接口的输入端通过同轴线与外部微波发生模块电连接。本发明提供了一种半导体设备、微波远程等离子体反应腔室及装置，方便安装且制作成本低，还可以提高反应腔体的冷却效果。
本发明授权一种半导体设备、微波远程等离子体反应腔室及装置在权利要求书中公布了：1.一种微波远程等离子体反应腔室，其特征在于，包括： 反应腔体，包括进气口和出气口； 液冷保护罩，位于所述反应腔体的外壁侧，所述液冷保护罩的内部设有多条串联连通的液冷通道，所述液冷保护罩上设有与所述液冷通道连通的进液口和出液口； 微波放电组件，位于所述反应腔体的外侧，用于接收微波能量以电离所述反应腔体内的工艺气体； 第一同轴接口，所述第一同轴接口的输出端与所述微波放电组件电连接，所述第一同轴接口的输入端通过同轴线与外部微波发生模块电连接； 所述反应腔体的形状为空心圆柱桶； 所述微波放电组件位于所述空心圆柱桶底部的外侧； 所述微波放电组件包括固定探头和与所述固定探头螺纹连接的微波谐振探头； 所述固定探头与所述第一同轴接口电连接； 所述微波谐振探头在所述空心圆柱桶底部上的垂直投影的长度机械可调。
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