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龙图腾网获悉上海谙邦半导体设备有限公司申请的专利一种按压式插拔顶针机构及半导体处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121729040B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610226481.0，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权一种按压式插拔顶针机构及半导体处理设备是由陈刚;方文强;王培栋;王东泽设计研发完成，并于2026-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种按压式插拔顶针机构及半导体处理设备在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆处理设备技术领域，尤其涉及一种按压式插拔顶针机构及半导体处理设备，包括固定基座、顶针本体、第一套设件、第二套设件和弹性构件，固定基座设于工艺腔体内壁上，固定基座上设置安装槽；顶针本体至少部分同轴设于安装槽内；第一套设件固定套设在顶针本体外，第一套设件的外侧壁设有第一卡接部；第二套设件活动套设在顶针本体外且至少部分包覆在第一套设件外，第二套设件的内侧壁设有第二卡接部；弹性构件设于安装槽内且与顶针本体位于安装槽内的底端部抵接。本发明在于设计一种新型顶针与顶针座的连接结构，以替代现有采用螺纹固定的方式，从而避免螺纹磨损导致的失效风险，以及陶瓷材质顶针因旋拧应力集中而断裂的问题。

本发明授权一种按压式插拔顶针机构及半导体处理设备在权利要求书中公布了：1.一种按压式插拔顶针机构，其特征在于，包括： 固定基座，设于工艺腔体内壁上，所述固定基座从所述固定基座的顶部向底部并沿轴向凹陷有一安装槽； 顶针本体，至少部分同轴设于所述安装槽内； 第一套设件，固定套设在所述顶针本体外，所述第一套设件的外侧壁设有径向向外延伸的第一卡接部； 第二套设件，一端连接固定在所述安装槽的侧壁上，所述第二套设件远离所述安装槽的侧壁的一端活动套设在所述顶针本体外，所述第二套设件的内侧壁设有径向向内延伸的第二卡接部，且所述第二套设件包覆至少部分所述第一套设件，所述第二卡接部在所述安装槽的底部的投影结构至少部分与所述第一卡接部在所述安装槽的底部的投影结构重叠设置，以在顶针本体安装于所述安装槽内时，使所述第二卡接部位于所述第一卡接部上方并对所述第一卡接部形成阻挡以固定所述顶针本体； 弹性构件，设于所述安装槽内且与所述顶针本体的底端部抵接，所述顶针本体在按压力作用下使所述弹性构件发生弹性形变，并在作用于所述顶针本体上的按压力去除后，使所述顶针本体在所述弹性构件的弹性形变力的推动下沿着轴向向上运动，并带着所述第一卡接部推开并越过所述第二卡接部，从而使所述顶针本体脱离出所述安装槽。

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