上海谙邦半导体设备有限公司张骞获国家专利权
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龙图腾网获悉上海谙邦半导体设备有限公司申请的专利一种顶针构件及等离子体处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121729041B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610226483.X，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权一种顶针构件及等离子体处理设备是由张骞;王培栋;方猛;罗来良设计研发完成，并于2026-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种顶针构件及等离子体处理设备在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆处理设备技术领域，尤其涉及一种顶针构件及等离子体处理设备，包括固定基座、顶针本体和咬合锁定件，固定基座设于工艺腔体的内壁上，所述固定基座沿轴向开设有自顶部向底部延伸的安装槽；顶针本同轴设于所述安装槽内，所述顶针本体包括设于所述安装槽内的第二针体，以及设置于所述第二针体的顶部的第一针体，所述第二针体的直径大于所述第一针体的直径，以形成围绕所述第一针体的止挡台阶；所述咬合锁定件包括限位结构；本发明通过设置具有止挡台阶的顶针本体与安装槽内可径向弹性运动的咬合锁定件相配合，有效解决了现有技术中顶针采用螺纹固定方式易出现的滑丝、脆断及无法可靠复位的问题。
本发明授权一种顶针构件及等离子体处理设备在权利要求书中公布了：1.一种顶针构件，其特征在于，包括： 固定基座，设于工艺腔体的内壁上，所述固定基座沿轴向开设有自顶部向底部延伸的安装槽； 顶针本体，同轴设于所述安装槽内，所述顶针本体包括设于所述安装槽内的第二针体，以及设置于所述第二针体的顶部的第一针体，所述第二针体的直径大于所述第一针体的直径，以形成围绕所述第一针体的止挡台阶； 咬合锁定件，设于所述安装槽内，所述咬合锁定件包括限位结构，所述限位结构与所述安装槽的侧壁弹性抵持，以通过弹性抵持力使所述限位结构沿径向运动，所述限位结构与所述止挡台阶适配，在顶针本体固定于所述安装槽内时，所述限位结构位于所述止挡台阶的上方，且所述限位结构在所述安装槽的槽底的投影结构至少部分与所述止挡台阶在所述安装槽的槽底的投影结构重叠设置，以使所述限位结构对所述止挡台阶和所述第二针体形成阻挡以固定所述顶针本体。
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