中环领先半导体科技股份有限公司石磊峰获国家专利权
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龙图腾网获悉中环领先半导体科技股份有限公司申请的专利抛光垫的修整装置以及修整系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224144351U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520876964.6,技术领域涉及:B24B53/017;该实用新型抛光垫的修整装置以及修整系统是由石磊峰;温玉楠;王慧设计研发完成,并于2025-05-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本抛光垫的修整装置以及修整系统在说明书摘要公布了:本申请涉及半导体硅片抛光垫的修整技术领域,公开了一种抛光垫的修整装置以及修整系统。该修整装置包括第一修整组件,第一修整组件包括第一修整轮以及第一修整件,第一修整轮开设有多个第一安装孔,各第一安装孔均安装有第一修整件。该修整装置还包括第二修整组件,第二修整组件包括第二修整轮以及第二修整件,第二修整轮开设有多个第二安装孔,各第二安装孔被配置为选择性地安装有第二修整件,以调整第二修整组件的修整区域。其中,第一修整组件以及第二修整组件被配置为择一地用于对抛光垫进行修整。通过上述方式,本申请能够实现调整修整装置的修整区域,并且能够丰富修整装置所适配的应用场景。
本实用新型抛光垫的修整装置以及修整系统在权利要求书中公布了:1.一种抛光垫的修整装置,其特征在于,所述修整装置包括: 第一修整组件,包括第一修整轮以及第一修整件,所述第一修整轮开设有多个第一安装孔,各所述第一安装孔均安装有所述第一修整件;以及 第二修整组件,包括第二修整轮以及第二修整件,所述第二修整轮开设有多个第二安装孔,各所述第二安装孔被配置为选择性地安装有所述第二修整件,以调整所述第二修整组件的修整区域; 其中,所述第一修整组件以及所述第二修整组件被配置为择一地用于对抛光垫进行修整。
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