深圳市曼恩斯特科技股份有限公司葛杨俊获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市曼恩斯特科技股份有限公司申请的专利风刀组件及气相沉积装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117626229B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410037859.3,技术领域涉及:C23C16/455;该发明授权风刀组件及气相沉积装置是由葛杨俊;方声龙;陈永泉;彭建林设计研发完成,并于2024-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本风刀组件及气相沉积装置在说明书摘要公布了:本发明提供了一种风刀组件及气相沉积装置,涉及玻璃制造设备的技术领域,该风刀组件包括吹气主板块和吹气副板块,在所述吹气主板块上设置有至少一个进气口,从所述进气口进入的气体依次经过第一上凹腔、第二上凹腔和第一下凹腔后进入到第一狭缝。本发明提供的气相沉积装置的风刀组件能够使进入风刀组件的气流变的平稳,实现均匀吹气的目的,避免由于吹气不均匀造成玻璃表面反应不均匀的情况发生,且在风刀组件内设置冷却腔,确保混合气流未从第一狭缝流出的时候,维持在较低的温度,避免混合气体提前发生反应;吸气组件能够均匀的将废气吸走,实现均匀吸气,这样能够避免吸气不均匀造成玻璃表面反应不均匀,影响产品的质量的问题。
本发明授权风刀组件及气相沉积装置在权利要求书中公布了:1.一种气相沉积装置,其特征在于,包括两个吸气组件250和风刀组件100,所述风刀组件100设置在两个所述吸气组件250之间; 在所述吸气组件250和所述风刀组件100之间设置有装配块240,所述装配块240使所述吸气组件250和所述吸气组件250形成涂布装置主体; 所述风刀组件100包括两个抵接的吹气板块,两个所述吹气板块分别为吹气主板块101和吹气副板块102,在所述吹气主板块101的朝向所述吹气副板块102的一侧从上到下依次有第一上凹腔300和第一下凹腔500;所述吹气副板块102的朝向所述吹气主板块101的一侧设置有第二上凹腔400; 在所述吹气主板块101和所述吹气副板块102之间设置有第一垫片700,所述第一垫片700使所述吹气主板块101和所述吹气副板块102之间形成第一狭缝800,所述第一狭缝800位于所述风刀组件100的下端; 在所述吹气主板块101上设置有至少一个进气口200,且所述进气口200与所述第一上凹腔300连通,所述第二上凹腔400分别与所述第一上凹腔300和所述第一下凹腔500连通,从所述进气口200进入的气体依次经过第一上凹腔300、第二上凹腔400和第一下凹腔500后进入到第一狭缝800; 在所述吸气组件250的远离所述风刀组件100的一侧设置有第一挡板390,在所述风刀组件100的长度方向的两端设置有第二挡板380,两个所述第一挡板390和两个所述第二挡板380形成矩形框架,且所述矩形框架的下端不高于所述风刀组件100的下端,所述矩形框架用于限制所述风刀组件100吹出的气体的分散。
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