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龙图腾网获悉重庆启晶科技发展有限公司申请的专利一种用于金刚石沉积的硅晶预处理方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119446983B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411594831.6，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种用于金刚石沉积的硅晶预处理方法及装置是由程衍喆;张大为;吴克难;肖风权设计研发完成，并于2024-11-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于金刚石沉积的硅晶预处理方法及装置在说明书摘要公布了：本发明属于硅晶镀膜金刚石技术领域，具体涉及一种用于金刚石沉积的硅晶预处理方法及装置，包括以下步骤：步骤S10：用纯水洗去硅晶表面灰尘；步骤S20：将硅晶放入氢氟酸中浸泡，然后使用大量纯水冲洗掉酸；步骤S30：烘干硅晶衬底表面；步骤S40：在40‑50度中往硅晶表面滴满DMSO，静止1h以上；步骤S50：再次对硅晶进行纯水冲洗；步骤S60：将硅晶放在离心机上，转速中下档，甩干水分，完成预处理。本方法通过氢氟酸浸泡对硅表面的氧化膜进行腐蚀，使得硅表面更容易成核。同时氢氟酸会在硅表面进行点蚀改性，使得水分容易在硅晶表面停留，使得硅晶容易清洗干净。

本发明授权一种用于金刚石沉积的硅晶预处理方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种用于金刚石沉积的硅晶预处理装置，其特征在于，包括： 密闭箱体1：所述密闭箱体1设有进气管14、出气管16、清洗腔、氢氟酸腔、甲醇腔11和纯水腔12，所述清洗腔设有喷头6，所述甲醇腔11和纯水腔12均设有振动器10； 滚珠丝杆3：所述滚珠丝杆3与密闭箱体1转动连接； 移动件4：所述移动件4与滚珠丝杆3相配合； 主电机：所述主电机的轴与滚珠丝杆3固定连接，所述主电机与密闭箱体1固定连接； 伸缩机构21：所述伸缩机构21与移动件4固定连接； 夹持机构：用于夹持硅晶24，所述夹持机构与伸缩机构21相配合； 气泵2：所述气泵2与进气管14连通； 水泵：所述水泵与喷头6连通； 滴注机构：所述滴注机构用于滴注硅晶，所述滴注机构位于密闭箱体1内部， 加热机构：所述加热机构用于保持密闭箱体1内温度，所述加热机构位于密闭箱体1内部； 控制器：所述主电机、滴注机构、水泵、加热机构、气泵2、振动器10和伸缩机构21均与控制器电性连接； 还包括第一接触感应器5、第二接触感应器27和电动翻转盖7，所述电动翻转盖7用于开关氢氟酸腔，所述第一接触感应器5与水泵电性连接，且第一接触感应器5和第二接触感应器27均位于清洗腔内，所述第一接触感应器5和第二接触感应器27均与夹持机构相配合，所述第二接触感应器27与电动翻转盖7电性连接，所述电动翻转盖7与氢氟酸腔转动连接； 所述清洗腔与氢氟酸腔连通，且清洗腔与氢氟酸腔竖直排列，所述清洗腔位于氢氟酸腔上方，所述清洗腔设有排水口8，所述排水口8与电动翻转盖7相配合； 当夹持机构进入清洗腔时，接触第一接触感应器，使得喷头喷水进行除尘，当夹持机构继续下移时，喷头停止喷水，废水从电动翻转盖上滑到排水口处排出，然后夹持机构继续下移接触到第二接触感应器，使得电动翻转盖打开，夹持机构带着硅晶进入到氢氟酸内部进行浸泡，浸泡完成后，夹持机构上升，使得第二接触感应器触发，电动翻转盖关闭，夹持机构继续上升，使得第一接触感应器触发，喷头进行喷水，使得硅晶上的氢氟酸被清洗掉。

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