买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉智慧星空(上海)工程技术有限公司申请的专利对准调平系统、对准调平方法及光刻设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121522976B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610043468.1，技术领域涉及：G03F9/00；该发明授权对准调平系统、对准调平方法及光刻设备是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2026-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本对准调平系统、对准调平方法及光刻设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种对准调平系统、对准调平方法及光刻设备，属于半导体设备技术领域。本申请中的对准调平系统包括：位于预对准位的预对准单元，进行基材的预对准；位于上片位的粗对准粗调平单元，分别进行基材的粗对准和粗调平，其中第一调平模块相较于第一对准模块更靠近基材；位于精对准位的精对准单元，进行基材的垂向高度补偿和精对准；位于曝光位的精调平单元，进行基材的精调平。通过在不同工位依次配置功能独立的处理单元，构建形成分步、递进式的对准调平系统，将对准与调平任务分解至各工序分步执行，避免了所有补偿操作在最终曝光位集中进行，能够在确保高对准调平精度的前提下，有效缩短工序耗时，达成提升光刻产率的根本目的。

本发明授权对准调平系统、对准调平方法及光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种对准调平系统，其特征在于，包括： 预对准单元，设置于预对准位，包括视觉模块，所述视觉模块获取基材的轮廓信息和定向特征信息，用于对所述基材进行预对准； 粗对准粗调平单元，设置于上片位，包括第一对准模块和第一调平模块，所述第一对准模块用于获取所述基材的第一水平向补偿值，并根据所述第一水平向补偿值对所述基材进行粗对准，所述第一调平模块用于获取所述基材的第一垂向补偿值，并根据所述第一垂向补偿值对所述基材进行粗调平，所述第一调平模块相较于所述第一对准模块更靠近基材； 精对准单元，设置于精对准位，包括第二对准模块和调焦模块，所述调焦模块用于获取所述基材的第二垂向补偿值，并根据所述第二垂向补偿值对所述基材的垂向高度进行调整，所述第二对准模块用于获取所述基材的第二水平向补偿值，并根据所述第二水平向补偿值对所述基材进行精对准； 精调平单元，设置于曝光位，包括第二调平模块，所述第二调平模块用于获取所述基材的第三垂向补偿值，并根据所述第三垂向补偿值对所述基材进行精调平。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人智慧星空(上海)工程技术有限公司，其通讯地址为：201315 上海市浦东新区叠桥路128号8幢4层407室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。