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上海乾曜光学科技有限公司祝沛获国家专利权

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龙图腾网获悉上海乾曜光学科技有限公司申请的专利一种多波长动态干涉仪测量误差校正方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121761751B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610262406.X,技术领域涉及:G01B9/02055;该发明授权一种多波长动态干涉仪测量误差校正方法是由祝沛设计研发完成,并于2026-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。

一种多波长动态干涉仪测量误差校正方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种多波长动态干涉仪测量误差校正方法,涉及干涉测量技术领域,包括:多波长干涉图采集;基于干涉光强理想分布,通过多项式拟合完成背景光强拟合、去除、光强调度分布拟合及振幅归一化,修正光强分布不均问题;李萨如图形相位修正;采用AIA迭代算法提取单波长相位,再通过多波长合成算法计算合成波长对应的相位信息;采用PCA方法对面形数据降维,计算马氏距离并剔除异常信号,将保留数据的原始面形取平均,得到最终面形。本发明以多项式拟合与李萨如图形拟合双重修正技术,以及主成分分析结合马氏距离异常剔除技术为核心,针对性地解决移相误差、光强不均及多波长合成误差放大等问题,实现全自动化高精度测量误差校正。

本发明授权一种多波长动态干涉仪测量误差校正方法在权利要求书中公布了:1.一种多波长动态干涉仪测量误差校正方法,其特征在于,基于现有多波长动态干涉仪硬件系统,通过软件算法构建全流程校正体系,具体校正过程如下: S1、多波长干涉图采集:控制光源模块依次输出预设多个测量波长,针对每个波长,相机同步采集经相位掩膜板四象限调制的4幅不同移相量干涉图,采集时保持干涉仪与待测物体相对位置固定;采用调制度识别方式去除图像边缘无效像素区域,得到有效干涉图数据集; S2、光强归一化修正:基于干涉光强理想分布,通过多项式拟合完成背景光强拟合、去除、光强调制度分布拟合及振幅归一化,修正光强分布不均问题; S3、李萨如图形相位修正:将单波长相移量相隔90°的干涉条纹图像素点光强作为正、余弦信号,进行李萨如图形拟合,剔除严重偏离椭圆的数据,修正后重组形成干涉图; S4、单波长相位计算与多波长相位合成:采用AIA迭代算法提取单波长相位,再通过多波长合成算法计算合成波长对应的相位信息; S5、主成分分析优化:采用PCA方法对面形数据降维,计算马氏距离并剔除异常信号,将保留数据的原始面形取平均,得到最终面形。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海乾曜光学科技有限公司,其通讯地址为:201800 上海市嘉定区恒永路518弄5号2层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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