东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司孙伟强获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利电子探测装置和电子束成像设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224164214U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520999344.1，技术领域涉及：H01J37/05；该实用新型电子探测装置和电子束成像设备是由孙伟强;倪冬冬;陈喜亚设计研发完成，并于2025-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本电子探测装置和电子束成像设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种电子探测装置和电子束成像设备。电子探测装置包括探测器和电子过滤组件。探测器用于接收和处理电子信号，电子信号由电子束照射待测样品产生。电子过滤组件用于过滤电子信号，以使预设量的电子信号通过，在电子信号的传播路径上，电子过滤组件设置于探测器的上游，电子过滤组件包括允许电子信号通过的多个信号通道，信号通道的信号通过面积被配置为可调节，以调节经由信号通道通往探测器的电子信号的量。本申请能够实现不同能谱段的电子信号等比例过滤，有利于减少信号缺失，提高待测样品的检测效果。
本实用新型电子探测装置和电子束成像设备在权利要求书中公布了：1.一种电子探测装置，其特征在于，包括： 探测器，用于接收和处理电子信号，所述电子信号由电子束照射待测样品产生；以及 电子过滤组件，用于过滤所述电子信号，以使预设量的电子信号通过，在所述电子信号的传播路径上，所述电子过滤组件设置于所述探测器的上游，所述电子过滤组件包括允许所述电子信号通过的多个信号通道，所述信号通道的信号通过面积被配置为可调节，以调节经由所述信号通道通往所述探测器的所述电子信号的量。
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