江苏新顺微电子股份有限公司蒋亚东获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏新顺微电子股份有限公司申请的专利一种芯片单面腐蚀装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224165072U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520707233.9，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种芯片单面腐蚀装置是由蒋亚东;贾云波;龚宇科;周晓;高梦金设计研发完成，并于2025-04-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种芯片单面腐蚀装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种芯片单面腐蚀装置。该芯片单面腐蚀装置包括泡酸槽体、供液泵和无泡储液桶，泡酸槽体具有进出液口和溢流口，进出液口与供液泵和无泡储液桶连通，溢流口与无泡储液桶连通，供液泵与无泡储液桶连通，泡酸槽体底部设有多个泡酸盘，所述多个泡酸盘用于放置待腐蚀的芯片，泡酸盘底部形成通液孔，通液孔用于与泡酸槽体连通，泡酸盘内沿周向设有定位柱，定位柱沿高度方向移动，定位柱用于支撑芯片。本实用新型通过设置泡酸槽体和具有定位柱的泡酸盘，使得芯片的泡酸时间可控，防止芯片产生边缘侵酸的现象，从而较佳地降低了芯片正面结构层或钝化层的脱落概率。
本实用新型一种芯片单面腐蚀装置在权利要求书中公布了：1.一种芯片单面腐蚀装置，其特征在于，包括泡酸槽体、供液泵和无泡储液桶，泡酸槽体具有进出液口和溢流口，进出液口与供液泵和无泡储液桶连通，溢流口与无泡储液桶连通，供液泵与无泡储液桶连通，泡酸槽体底部设有多个泡酸盘，所述多个泡酸盘用于放置待腐蚀的芯片，泡酸盘底部形成通液孔，通液孔用于与泡酸槽体连通，泡酸盘内沿周向设有定位柱，定位柱沿高度方向移动，定位柱用于支撑芯片。
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