吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司许军获国家专利权
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龙图腾网获悉吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司申请的专利一种晶圆顶升装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224165102U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520330359.9,技术领域涉及:H10P72/76;该实用新型一种晶圆顶升装置是由许军设计研发完成,并于2025-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆顶升装置在说明书摘要公布了:本申请提供了一种晶圆顶升装置,包括:丝杆电机,包括电机本体、连接于电机本体的丝杆以及与丝杆螺纹配合的止挡件;顶升组件,包括连接于止挡件的顶升结构,其中,顶升结构具有预设顶升高度范围,顶升结构在竖直方向上下移动。丝杆电机将电机的旋转运动转换为直线运动,通过止挡件的上下移动带动顶升结构上下移动,使顶升结构灵活地到达预设的顶升高度,如此实现了对顶升高度的精确调节;利用丝杆电机和顶升结构的配合,不仅弥补了传统气缸顶升方式中顶升高度固定,无法满足多高度需求工艺的缺陷,还解决了电缸顶升方式中电缸成本高,增加顶升装置整体的成本配置的问题。
本实用新型一种晶圆顶升装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆顶升装置,其特征在于,所述晶圆顶升装置包括: 丝杆电机,包括电机本体10、连接于所述电机本体10的丝杆11以及与所述丝杆11螺纹配合的止挡件12; 顶升组件,包括连接于所述止挡件12的顶升结构20,其中,所述顶升结构20具有预设顶升高度范围,所述顶升结构20在竖直方向上下移动,所述顶升结构20包括相互连接的延长连接部200和承载部210; 连接结构30,所述连接结构30包括垂直连接的第一板件和第二板件,所述第一板件通过连接孔300套设于所述止挡件12的外壁面,所述第二板件远离所述第一板件的一端连接于所述延长连接部200,其中,所述第一板件贴合于所述电机本体10的顶面,所述第二板件贴合于所述电机本体10的前壁面。
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