株式会社日立高新技术近藤直明获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社日立高新技术申请的专利试样观察系统以及图像处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115088061B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180013541.6，技术领域涉及：H10P74/20；该发明授权试样观察系统以及图像处理方法是由近藤直明;原田实;岭川阳平设计研发完成，并于2021-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本试样观察系统以及图像处理方法在说明书摘要公布了：一种试样观察系统，具有扫描型电子显微镜和计算机，进行如下处理：1取得所述扫描型电子显微镜拍摄的多个图像；2从所述多个图像取得包含缺陷部位的学习用缺陷图像和不包含所述缺陷部位的学习用参照图像；3使用所述学习用缺陷图像和所述学习用参照图像来计算推定处理参数；4取得包含缺陷部位的检查用缺陷图像；以及5使用所述推定处理参数和所述检查用缺陷图像来推定伪参照图像。
本发明授权试样观察系统以及图像处理方法在权利要求书中公布了：1.一种试样观察系统，其具有扫描型电子显微镜和计算机，其特征在于，所述计算机执行如下处理： 1取得所述扫描型电子显微镜拍摄的多个图像； 2从所述多个图像取得包含缺陷部位的学习用缺陷图像和不包含所述缺陷部位的学习用参照图像； 3使用所述学习用缺陷图像和所述学习用参照图像来计算推定处理参数； 4取得包含缺陷部位的检查用缺陷图像；以及 5使用所述推定处理参数和所述检查用缺陷图像来推定伪参照图像， 在所述3的处理中： 3A基于预定的评价值，进行所述学习用缺陷图像与所述学习用参照图像的位置对准来取得对准量； 3B基于所述对准量，从所述学习用缺陷图像切出学习用局部缺陷图像； 3C基于所述对准量，从所述学习用参照图像切出学习用局部参照图像；以及 3D使用所述学习用局部缺陷图像和所述学习用局部参照图像来计算所述推定处理参数。
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