马鞍山新地科技有限公司白永杰获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉马鞍山新地科技有限公司申请的专利一种离子交换折射率的精确测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115128039B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210369704.0，技术领域涉及：G01N21/45；该发明授权一种离子交换折射率的精确测量方法是由白永杰;孔祥君;张云风设计研发完成，并于2022-04-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种离子交换折射率的精确测量方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种离子交换折射率的精确测量方法，通过制作测试器件，并测试其对应的波长扫描图，可以计算出该器件所在晶圆的折射率，方便对该晶圆上其他器件折射率进行测算，相对于传统折射率测量方法，该测量方法使用光谱仪进行测量，所使用的光谱仪精度为0.1nm，依靠光谱仪精度，可以精确得到离子交换完成后的有效折射率，对本次工艺下其他器件有极高的参考意义，便于后续设计的优化改进。
本发明授权一种离子交换折射率的精确测量方法在权利要求书中公布了：1.一种离子交换折射率的精确测量方法，其特征在于，包括： 第一步，将光刻板上的图形通过光刻显影的方式转移至玻璃基板上； 第二步，通过离子交换工艺，在光刻图形基础上交换出所需要的测试器件； 所述测试器件包括并列设置的弯曲波导1与直波导2，其中直波导2的长度为固定值； 第三步，基于光谱仪及宽带光源的对光扫描，即通过耦合对光的方式，测试器件输入端连接宽带光源，输出端连接光谱仪，完成该器件的波长扫描图； 取弯曲波导1与直波导2内两路光的几何路程差为L，折射率为n，则弯曲波导1与直波导2两通道间的光程差可以表示为；对于不同的输入光波长，其相位差为，其中%为取余符号，由此得到所通过光能量随相位差发生周期性变化，在光谱扫描图上表现为能量-波长关系图呈现余弦型曲线； 对于能量峰值，其对应的波长满足，其中m=1,2,3…，则对于相邻能量峰得到其波长对应关系，计算得；其中λ1与λ2为相邻能量峰对应波长； L、λ1与λ2的单位均为nm； 即通过相邻能量峰值所在波长，求出测试器件的有效折射率。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人马鞍山新地科技有限公司，其通讯地址为：243000 安徽省马鞍山市郑蒲港新区敬业路108号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励