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龙图腾网获悉北京中拓光电科技有限公司申请的专利一种正片系统以及使用该正片系统正片的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115148647B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210273701.7，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权一种正片系统以及使用该正片系统正片的方法是由伊文君;张奇;徐杰;贾侦华设计研发完成，并于2022-03-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种正片系统以及使用该正片系统正片的方法在说明书摘要公布了：一种正片系统以及使用该系统正片的方法，包括正片机、机械手7和控制系统，正片机具有平台，可沿X轴平移及可绕Z轴旋转；平台固定吸盘905；载片台813被设置成大致的U型；吸盘905位于载片台813U型开口内，载片台813可相对吸盘905在高于吸盘上表面一定距离与低于吸盘上表面一定距离的位置间上下移动；机械手7具有负压吸口，可将外延片6固定，并将外延片6从初始位置运送到载片台813上，以及正片结束后将外延片6取走；控制系统上传感器可感测吸盘905上的外延片6的位置状态；通过控制机械手7在Y轴方向上的位移取代正片机的Y向平移运动，实现正片。

本发明授权一种正片系统以及使用该正片系统正片的方法在权利要求书中公布了：1.一种使用正片系统进行正片的方法，控制器预先存储载片台的位置信息X、Y、H1，H2，ΔX，ΔH，ΔY；其中，X为载片台参考点的横坐标，Y为载片台参考点的纵坐标，H1为载片台位于最高位置时参考点的Z轴坐标，H2为载片台位于最低位置时参考点的Z轴坐标；ΔX，ΔH，ΔY，分别为预先设定的值；外延片位于传感器正下方时，其圆心的标准位置坐标为X标，Y标；正片开始之前，首先使载片台和吸盘均位于初始位置，载片台初始位置为参考点位于H1高度，吸盘的初始位置为位于载片台的U型开口内； 正片过程包括如下步骤： 第一步：控制机械手运动至外延片存储位置，吸附一个外延片，并将其运送至载片台上方，坐标X，Y，H1+ΔH的位置； 第二步：断开机械手负压，机械手下移至X，Y，H1-ΔH，在此过程中，外延片接触载片台的顶部，随后与机械手脱离接触，移动到位后，机械手沿Y轴方向移出载片台位置X，Y-ΔY，H1-ΔH； 第三步：载片台带着外延片向下移动至参考点位于H2高度，在此过程中，外延片接触吸盘并且脱离载片台，开启吸盘负压，将外延片吸附固定在吸盘上； 第四步：运动平台带着吸盘沿X轴移动距离ΔX，使外延片位于传感器正下方； 第五步：运动平台带动吸盘绕Z轴旋转一周，同时传感器按一定频率采集外延片的轮廓信息，并将采集到的轮廓信息发送到控制器，控制器对其进行处理，获得外延片的圆心坐标X1，Y1，同时获得平边的夹角α，利用获得的圆心坐标、平边的夹角与预先存储的标准位置X标，Y标，根据平面几何知识通过计算得到外延片在X轴和Y轴的矫正距离X矫，Y矫； 第六步：运动平台带动吸盘绕Z轴转动角度α，实现平边的矫正； 第七步：运动平台带动吸盘沿X轴移动，移动距离为：-ΔX+X矫，实现外延片沿X轴方向的矫正； 第八步：关闭吸盘负压，载片台向上移动至参考点位于H1高度，同时带动外延片上移，脱离吸盘一定距离； 第九步：机械手沿Y轴方向移动，距离为ΔY+Y矫； 第十步：开启机械手负压，机械手上移，上移距离为2ΔH，外延片脱离载片台，从而实现了外延片沿Y轴方向的矫正； 第十一步：机械手将外延片取走并送至目标位置，正片结束。

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