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龙图腾网获悉合肥维信诺科技有限公司;昆山国显光电有限公司申请的专利掩膜板组件、掩膜基板、蒸镀装置及蒸镀方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116162895B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310184353.0，技术领域涉及：C23C14/04；该发明授权掩膜板组件、掩膜基板、蒸镀装置及蒸镀方法是由兰兰;曲毅;姜博;张荣设计研发完成，并于2023-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本掩膜板组件、掩膜基板、蒸镀装置及蒸镀方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种掩膜板组件、掩膜基板、蒸镀装置及蒸镀方法。掩膜板组件包括：掩膜基板，所述掩膜基板上设置有蒸镀区域，所述蒸镀区域内设置有多个蒸镀开口；以及第一遮挡件，所述第一遮挡件配置为覆盖一部分所述蒸镀区域；其中，所述第一遮挡件上设置有通孔，所述通孔配置为使所述蒸镀区域的被覆盖部分的至少一个蒸镀开口显露。本申请实施例未加工单独的测试孔，而是以通过第一遮挡件上的通孔所显露出的蒸镀开口作为“测试孔”，由于该“测试孔”原本就是蒸镀区域内的蒸镀开口，两者具有相同的加工精度，因此，通过本申请实施例中的“测试孔”而形成的测试图形，用于评价蒸镀出的图形的位置精度，具有更好的精准性。

本发明授权掩膜板组件、掩膜基板、蒸镀装置及蒸镀方法在权利要求书中公布了：1.一种掩膜板组件，其特征在于，包括： 掩膜基板，所述掩膜基板上设置有蒸镀区域，所述蒸镀区域内设置有多个蒸镀开口；以及 第一遮挡件，所述第一遮挡件配置为覆盖一部分所述蒸镀区域； 其中，所述第一遮挡件上设置有通孔，所述通孔配置为使所述蒸镀区域的被覆盖部分的至少一个蒸镀开口显露； 多个所述蒸镀开口的规格和排布方式相同； 所述第一遮挡件沿第一方向延伸，所述蒸镀区域被所述第一遮挡件分隔成沿第二方向间隔布置的多个子蒸镀区域；相邻所述子蒸镀区之间的所述第一遮挡件设置至少两个所述通孔，每一所述通孔配置为使至少一个所述蒸镀开口显露；所述蒸镀区域内的每一蒸镀开口对应同一显示面板的一个子像素，被所述通孔所暴露的蒸镀开口用于形成蒸镀图形的测试孔； 相邻所述子蒸镀区之间的所述第一遮挡件上设置的至少两个所述通孔沿第一方向间隔设置，所述第一方向与所述第二方向垂直； 所述通孔的面积大于所述蒸镀开口的面积，至少一个所述蒸镀开口在所述第一遮挡件上的正投影位于所述通孔之内。

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