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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利用于处理基板的设备及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116344391B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211678153.2，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权用于处理基板的设备及方法是由朴建熙;韩泳遵;郑喆焕;金大勋;尹盛炫;崔叡珍;崔恩赫;姜兑昊;金永珍设计研发完成，并于2022-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于处理基板的设备及方法在说明书摘要公布了：本发明的用于处理基板的设备包括缓冲单元、反向单元、第一转移腔室、第二转移腔室、第一清洗腔室、及第二清洗腔室。第一转移腔室、反向单元、及第二转移腔室在一个方向上依序配置。第一清洗腔室布置于第一转移腔室的一侧处，且第二清洗腔室布置于第二转移腔室的一侧处。设置于第一转移腔室中的第一主转移机械手在缓冲单元、反向单元、及第一清洗腔室之间直接转移基板。设置于第二转移腔室中的第二主转移机械手在缓冲单元、反向单元、及第二清洗腔室之间直接转移基板。

本发明授权用于处理基板的设备及方法在权利要求书中公布了：1.一种用于处理基板的设备，其包含： 索引模块；及 处理模块，其相邻于所述索引模块布置， 其中，所述索引模块包括： 一个或多个装载端口，所述基板容纳于所述装载端口上；及 索引框架，其设置有索引机械手，所述索引机械手在放置于所述装载端口中的容器与所述处理模块之间转移所述基板，且 所述处理模块包括： 缓冲单元，所述基板暂时留在所述缓冲单元中； 反向单元，其配置为将所述基板反向，使得所述基板的图案表面与非图案表面的位置改变； 处理腔室，其配置为处理所述基板；及 转移腔室，其设置有主转移机械手，所述主转移机械手在所述缓冲单元、所述反向单元、及所述处理腔室之间转移所述基板， 其中，所述缓冲单元与所述反向单元布置成在垂直方向上堆叠， 当自顶部观察时，所述索引框架及所述缓冲单元配置于第一方向上， 所述转移腔室包括： 第一转移腔室，其布置于所述缓冲单元的一侧上；及 第二转移腔室，其布置于所述缓冲单元的另一侧上， 当自顶部观察时，所述第一转移腔室、所述缓冲单元、及所述第二转移腔室配置于垂直于所述第一方向的第二方向上， 所述处理腔室包括： 第一清洗腔室，其配置于所述第一转移腔室的一侧上；及 第二清洗腔室，其配置于所述第二转移腔室的一侧上， 当自顶部观察时，所述第一转移腔室及所述第一清洗腔室配置在平行于所述第一方向的方向上， 当自顶部观察时，所述第二转移腔室及所述第二清洗腔室配置在平行于所述第一方向的方向上， 设置于所述第一转移腔室中的所述主转移机械手设置成在所述缓冲单元、所述反向单元、及所述第一清洗腔室之间直接转移所述基板，且 设置于所述第二转移腔室中的所述主转移机械手设置成在所述缓冲单元、所述反向单元、及所述第二清洗腔室之间直接转移所述基板。

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