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龙图腾网获悉普莱姆斯激光测量技术有限公司申请的专利一种用于确定焦点位置的装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116783024B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180085581.1，技术领域涉及：G01J1/42；该发明授权一种用于确定焦点位置的装置和方法是由R·克拉默;O·玛特恩;S·沃夫;J·罗斯纳格尔;M·韩赛尔;R·尼德瑞吉设计研发完成，并于2021-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于确定焦点位置的装置和方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种光束分析装置10，用于确定能量束或从能量束分离的样本光束70的焦点71的轴向位置，包括光束整形装置12、检测器40和分析装置45。光束整形装置12被配置为利用二维透射函数在调制平面19上调制能量束77或被分离的样本光束70的强度分布81，以便形成调制样本光束79。透射函数具有在至少一个阻挡区域25和至少一个通道区域21之间呈过渡形式的至少两个对比度阶梯32、33，它们彼此相距距离a。光束整形装置12被配置为将调制样本光束79沿传播路径引导到检测器40上，以沿着第一横向方向31在检测器40上形成具有至少两个对比度特征92、93的强度分布83。分析装置45被配置为确定沿着第一横向方向31在检测器40上的对比度特征92、93之间的距离a，以及基于距离a确定光束焦点71的轴向位置和或基于距离a的变化确定光束焦点71的轴向位置的变化。本发明还涉及一种用于确定光束焦点71的轴向位置的相应方法。

本发明授权一种用于确定焦点位置的装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种用于确定光束焦点71的轴向位置的光束分析装置10，其特征在于， 光束焦点71是电磁辐射的能量束77的焦点76，或与所述能量束77分离的样本光束70的焦点，包括光束整形装置12、检测器40和评估装置45； 其中，所述光束整形装置12包括调制装置20和成像装置50，其中 -所述调制装置20具有通道区域21的至少两个区域部分和阻挡区域25的至少一个区域部分，并被配置为在具有二维透射函数的调制平面19中调制所述能量束77或与所述能量束77分离的所述样本光束70的强度分布81，从而形成具有调制强度分布82的调制样本光束79， 其中，所述透射函数具有至少一个包括基本恒定的第一强度透射因子的具有至少两个区域部分的所述通道区域21，以及具有至少一个包括基本恒定的第二强度透射因子的所述阻挡区域25， 其中，所述第二强度透射因子最多为所述第一强度透射因子的50％，其中，沿着第一横向方向31的所述透射函数包括在所述至少一个阻挡区域25和所述至少一个通道区域21之间呈过渡形式的至少两个对比度阶梯32,33， 其中，所述对比度阶梯32,33沿所述第一横向方向31彼此相距距离k， 其中，术语“横向”是指与相应的局部光轴11垂直的平面中的方向， -所述成像装置50被配置为沿着传播路径将所述调制样本光束79 引导到所述检测器40上，以便在所述检测器40上形成具有沿着所述第一横向方向31的至少两个对比度特征92,93的强度分布83， 其中，所述检测器40上的所述强度分布83中的所述对比度特征92,93由所述至少两个对比度阶梯32,33在所述调制强度分布82中通过将所述调制样本光束79传播到所述检测器40形成； 其中所述检测器40 -包括在空间上二维分辨的光辐射敏感传感器，被配置为将照射在所述检测器40上的所述强度分布83转换为电信号，并且 -沿所述传播路径设置在所述调制平面19后面的距离s处；以及，其中所述评估装置45 -被配置为处理所述检测器40的电信号，所述电信号表示所述检测器40上的所述强度分布83， -被配置为确定所述检测器40上的两个所述对比度特征92,93之间沿着所述第一横向方向31的距离a，以及 -被配置为基于所述距离a确定所述光束焦点71的轴向位置，和或基于所述距离a的改变确定所述光束焦点71的轴向位置的改变。

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