传周半导体科技(上海)有限公司隆茂生获国家专利权
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龙图腾网获悉传周半导体科技(上海)有限公司申请的专利一种光电芯片的测试装置及其测试方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116819291B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310795330.3,技术领域涉及:G01R31/311;该发明授权一种光电芯片的测试装置及其测试方法是由隆茂生;王晓曦;张义荣;高朕设计研发完成,并于2023-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光电芯片的测试装置及其测试方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种光电芯片的测试装置及其测试方法,测试装置包括测试座,所述测试座用以固定测试芯片,所述测试座中设置有探针,所述探针与所述测试芯片的PAD盘对应设置并与所述PAD盘电性连接;光源,所述光源用以给所述测试芯片提供光线,所述光源正对所述测试芯片的感光区设置;码盘,所述码盘用以调整所述光源的光线照射到所述测试芯片的感光区的面积;所述码盘设置于所述测试芯片与所述光源之间;所述码盘设置有至少一个透光区,所述码盘旋转时,所述光源的光线穿过所述透光区照射到所述感光区。本发明提供的光电芯片的测试装置及其测试方法,通过改变光源照射到感光区的光线的面积改变光线的照射到感光区的光能量,提高测试结果的准确性。
本发明授权一种光电芯片的测试装置及其测试方法在权利要求书中公布了:1.一种光电芯片的测试装置,其特征在于,包括: 测试座,所述测试座用以固定测试芯片,所述测试座中设置有探针,所述探针与所述测试芯片的PAD盘对应设置并与所述PAD盘电性连接; 光源,所述光源用以给所述测试芯片提供光线,所述光源正对所述测试芯片的感光区设置; 码盘,所述码盘用以调整所述光源的光线照射到所述测试芯片的感光区的面积;所述码盘设置于所述测试芯片与所述光源之间;所述码盘设置有至少一个透光区,所述码盘旋转时,所述光源的光线穿过所述透光区照射到所述感光区; 测试方法包括如下步骤: 安装测试芯片、探针、测试座、码盘和光源; 将所述探针连接到示波器,开启光源,启动驱动件,带动所述码盘旋转; 通过所述示波器获取光电流曲线,计算光电灵敏度; 所述透光区呈扇环形,所述透光区所在的圆环与所述码盘具有相同的中心轴线;所述透光区的径向中心线与所述感光区的中心点在同一圆弧上;所述测试方法还包括:光电流通过以下公式进行计算: 其中,为光电流,为所述光源的光强,为光线照射到所述感光区的面积,为光电灵敏度; 在所述感光区开始进入所述透光区到所述感光区全部开始进入所述透光区的过程中,光线照射到所述感光区的面积通过以下公式进行计算: 其中,为光线照射到所述感光区的面积;为所述透光区的外径,为所述透光区的内径,为所述感光区的径向照射宽度,为所述码盘旋转的角速度,为距离所述感光区开始进入所述透光区的时间; 在所述感光区开始进入所述透光区到所述感光区全部开始进入所述透光区的过程中,光电灵敏度通过以下公式进行计算: 其中,为光电灵敏度,为光电流,为所述光源的光强,为所述透光区的外径,为所述透光区的内径,为所述感光区的径向照射宽度,为所述码盘旋转的角速度,为距离所述感光区开始进入所述透光区的时间。
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