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北京华卓精科科技股份有限公司吴峰获国家专利权

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龙图腾网获悉北京华卓精科科技股份有限公司申请的专利一种用于晶圆堆叠的晶圆对夹持机构及夹持方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116922404B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210327425.8,技术领域涉及:B25J11/00;该发明授权一种用于晶圆堆叠的晶圆对夹持机构及夹持方法是由吴峰;张豹;姜保彧设计研发完成,并于2022-03-30向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于晶圆堆叠的晶圆对夹持机构及夹持方法在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体晶圆技术领域,具体为一种用于晶圆堆叠的晶圆对夹持机构及夹持方法。该晶圆对夹持机构包括至少一个晶圆对夹持机构,所述夹持机构包括座体,所述座体的中央沿轴向方向装有旋转轴,所述座体的上方设有压板,所述旋转轴上套设有弹簧,所述弹簧位于座体内;所述座体的下部侧壁上开设有导向槽,所述导向槽内设有导向销。本发明的晶圆对夹持机构可自动旋转夹持,可旋转不同的角度,可通过将夹紧块座体中导向槽的高度a、b设计成不同的值适用于不同厚度晶圆,可通过更换不同直径和长度的弹簧适配不同厚度的晶圆对。

本发明授权一种用于晶圆堆叠的晶圆对夹持机构及夹持方法在权利要求书中公布了:1.一种用于晶圆堆叠的晶圆对夹持机构,其特征在于:包括至少一个晶圆对夹持机构,所述夹持机构包括座体1,所述座体1的中央沿轴向方向装有旋转轴2,所述座体1的上方设有压板3,所述旋转轴2的上端与压板3相连,所述旋转轴2上套设有弹簧4,所述弹簧4位于座体1内;所述座体1的下部侧壁上开设有导向槽7,所述导向槽7内设有导向销5,所述导向销5与旋转轴2固定连接,所述导向销5可沿导向槽7移动,所述导向槽7由依次相连通的第一垂直导向槽、水平导向槽和第二垂直导向槽组成,所述第一垂直导向槽的高度为a,所述第二垂直导向槽的高度为b,且a>b,a与b的差值为晶圆厚度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京华卓精科科技股份有限公司,其通讯地址为:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层(北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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