北京华卓精科科技股份有限公司黎远成获国家专利权
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龙图腾网获悉北京华卓精科科技股份有限公司申请的专利静电卡盘高温测试装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117148080B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210559312.0，技术领域涉及：G01R31/26；该发明授权静电卡盘高温测试装置是由黎远成;杨鹏远;王建冲;张玉利设计研发完成，并于2022-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本静电卡盘高温测试装置在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体设备，特别是涉及一种静电卡盘高温测试装置。本发明的目的是提供一种测试效率更高的静电卡盘高温测试装置，具体包括依次放置的预热腔室、测试腔室、冷却腔室及传送组件，所述预热腔室、所述测试腔室、所述冷却腔室的侧壁上分别设置有真空接口，各所述真空接口分别与所述预热腔室、所述测试腔室、所述冷却腔室的内腔连通，所述预热腔室、所述冷却腔室分别带有可拆卸的腔室盖，所述预热腔室用于加热所述静电卡盘，所述测试腔室用于测试加热后的静电卡盘，所述冷却腔室用于冷却测试后的静电卡盘，所述传送组件用于将所述静电卡盘从所述预热腔室传输至所述测试腔室，再从所述测试腔室传输至所述冷却腔室。
本发明授权静电卡盘高温测试装置在权利要求书中公布了：1.一种静电卡盘高温测试装置，其特征在于，包括依次放置的预热腔室1、测试腔室3、冷却腔室5及传送组件，所述预热腔室1、所述测试腔室3、所述冷却腔室5的侧壁上分别设置有真空接口81、82、83，各所述真空接口81、82、83分别与所述预热腔室1、所述测试腔室3、所述冷却腔室5的内腔连通，所述预热腔室1、所述冷却腔室5分别带有可拆卸的腔室盖13、53，所述预热腔室1用于加热静电卡盘，所述测试腔室3用于测试加热后的所述静电卡盘，所述冷却腔室5用于冷却测试后的所述静电卡盘，所述传送组件用于将所述静电卡盘从所述预热腔室1传输至所述测试腔室3，再从所述测试腔室3传输至所述冷却腔室5。
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