三井金属矿业株式会社深川功児获国家专利权
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龙图腾网获悉三井金属矿业株式会社申请的专利氧化物烧结体及其制造方法以及溅射靶材获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117529574B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202280043590.9，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权氧化物烧结体及其制造方法以及溅射靶材是由深川功児设计研发完成，并于2022-07-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本氧化物烧结体及其制造方法以及溅射靶材在说明书摘要公布了：本发明的氧化物烧结体含有锡元素、钽元素和铌元素。氧化物烧结体的截面观察中的单位面积的孔部的面积率为1％以下。氧化物烧结体的截面观察中的孔部的最大当量圆直径为20μm以下。氧化物烧结体的截面观察中的孔部的最大费雷特直径为50μm以下。氧化物烧结体的基于阿基米德法测定的相对密度为99.6％以上是合适的。氧化物烧结体的根据JISR1601测定的抗弯强度为180MPa以上是合适的。
本发明授权氧化物烧结体及其制造方法以及溅射靶材在权利要求书中公布了：1.一种氧化物烧结体，其含有锡元素、钽元素和铌元素， 所述氧化物烧结体的截面观察中的单位面积的孔部的面积率为1%以下，其中，所述孔部的面积率通过如下方式测定： 对将氧化物烧结体切断而得到的切断面，使用砂纸#180、#400、#800、#1000、#2000进行阶段性地研磨，最后抛光而精加工为镜面， 对于氧化物烧结体的截面，使用扫描电子显微镜拍摄倍率200倍、445.3μm×634.6μm的范围的BSE-COMP图像，使用颗粒解析软件扫描BSE-COMP图像并利用扫描器进行图像识别，将该图像二值化，此时，以1个像素利用μm单位表示的方式设定换算值， 接着将映在BSE-COMP图像的所有孔部作为对象，求出其面积和面积的总和，求出孔部的面积的总和相对于视野面积的百分率的值，求出将不同的10个BSE-COMP图像作为对象测定的百分率的算术平均值，将该算术平均值作为孔部的面积率。
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