浙江众凌科技有限公司张志锴获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江众凌科技有限公司申请的专利用于制造金属掩膜板的刻蚀设备和刻蚀系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121674969B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610171128.7，技术领域涉及：C23F1/08；该发明授权用于制造金属掩膜板的刻蚀设备和刻蚀系统是由张志锴;夏孝定;龚月良;康震;黄婷设计研发完成，并于2026-02-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于制造金属掩膜板的刻蚀设备和刻蚀系统在说明书摘要公布了：本申请提供了一种用于制造金属掩膜板的刻蚀设备和刻蚀系统。该刻蚀设备包括：储液箱；储液箱设有进料口和出料口，用于供带材以设计速度穿过，带材将储液箱分隔为第一储液区和第二储液区，第一储液区的下液面与第二储液区的上液面分别与带材的两侧接触；第一进液管道和第二进液管道分别与第一储液区和第二储液区连通；第一出液管道和第二出液管道分别与第一储液区和第二储液区连通；第一调节阀和第二调节阀分别用于调节第一进液管道内进入第一储液区的流量、第二进液管道内进入第二储液区的流量，使得第一储液区、第二储液区内刻蚀液的流速均与带材的设计速度匹配。本申请能够使得带材两侧表面刻蚀速率均保持一致，从而保证带材两侧均匀刻蚀。
本发明授权用于制造金属掩膜板的刻蚀设备和刻蚀系统在权利要求书中公布了：1.一种用于制造金属掩膜板的刻蚀设备，其特征在于，包括： 储液箱，盛装有刻蚀液；所述储液箱正置时，与重力方向平行且相对的两侧分别设有进料口和出料口，用于供带材以设计速度穿过，所述带材将所述储液箱分隔为第一储液区和第二储液区，所述第一储液区的下液面与所述第二储液区的上液面分别用于与所述带材的两侧接触； 第一进液管道和第二进液管道，分别与所述第一储液区和所述第二储液区连通，且均与所述进料口同侧设置； 第一出液管道和第二出液管道，分别与所述第一储液区和所述第二储液区连通，且均与所述出料口同侧设置； 所述第一进液管道和所述第二进液管道上分别设置有第一调节阀和第二调节阀，分别用于调节所述第一进液管道内进入所述第一储液区的流量、所述第二进液管道内进入所述第二储液区的流量，使得所述第一储液区、所述第二储液区内刻蚀液的流速均与所述带材的设计速度匹配。
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