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上海乾曜光学科技有限公司祝沛获国家专利权

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龙图腾网获悉上海乾曜光学科技有限公司申请的专利一种使用多波长动态干涉仪进行拼接镜装调的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121784966B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610276622.X,技术领域涉及:G02B27/00;该发明授权一种使用多波长动态干涉仪进行拼接镜装调的方法是由祝沛设计研发完成,并于2026-03-09向国家知识产权局提交的专利申请。

一种使用多波长动态干涉仪进行拼接镜装调的方法在说明书摘要公布了:本发明涉及拼接镜装调技术领域,具体为一种使用多波长动态干涉仪进行拼接镜装调的方法,包括以下步骤:图像采集与有效区域识别:多波长动态干涉仪采用多个波长依次对拼接镜进行多次测量,每个波长每次测量获取四张四步相移图像;采用调制度算法识别干涉条纹区域并划分各子镜区域。本发明用于拼接镜的共相条件收敛的方法,逻辑完整,可操作性强,抗干扰能力强,成本低,可适配到所有需要进行相对高度测量的多波长光学干涉测量设备中,通过使用李萨如分析剔除采集过程中偏差较大的数据,而后进行李萨如修正提升了单组数据的测量精度,并通过统计分析进一步提升合成波长的测量精度。

本发明授权一种使用多波长动态干涉仪进行拼接镜装调的方法在权利要求书中公布了:1.一种使用多波长动态干涉仪进行拼接镜装调的方法,其特征在于,包括以下步骤: S1.多波长动态干涉仪采用多个波长依次对拼接镜进行多次测量,每个波长每次测量获取四张四步相移图像;采用调制度算法识别干涉条纹区域并划分各子镜区域; S2.对单波长单次测量的相移图像进行李萨如图形拟合,剔除严重失真数据,通过算法修正信号质量一般的数据,重组为修正后的干涉图; S3.基于修正后的干涉图,采用AIA迭代算法提取单波长相位;通过多波长合成公式计算合成波长对应的相位,经数据解包裹运算得到子镜间初步高度差; S4.对初步高度差数据进行统计分析,划分互不重叠的区间,选定概率密度最大区间的中点作为基准值,筛选基准值附近的有效数据并取平均,得到最终高度值; S5.融合多个合成波长的测量结果,通过求解丢番图问题扩展测量量程,将子镜间初始高度调整至单一合成波长的无模糊距离内; S6.依次切换至更大合成波长、更小合成波长直至单波长测量,持续调整子镜相对高度,最终使子镜间高度差满足共相条件。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海乾曜光学科技有限公司,其通讯地址为:201800 上海市嘉定区恒永路518弄5号2层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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