博飞特精密股份有限公司谢承靖获国家专利权
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龙图腾网获悉博飞特精密股份有限公司申请的专利化学机械研磨头改良结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224182794U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521115081.X，技术领域涉及：B24B37/11；该实用新型化学机械研磨头改良结构是由谢承靖;杨志强;黄彦凯设计研发完成，并于2025-06-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本化学机械研磨头改良结构在说明书摘要公布了：一种化学机械研磨头改良结构，主要包括：一气体分流座其上具有气体流道；一平衡环架与气体分流座组成气密腔体；一弹性膜片设在平衡环架的侧围上弹性传递压力。一膜固定环位于所述平衡环架下方，表面具同心圆配置的多道凹槽，每道凹槽上间隔设有吸盘状凹槽，构成环状珠链式吸附结构，支援吸气吸附与正压释放功能，并可分区独立调压。其中所述平衡环架为具中轴的圆盘，底部设有三角锥状加强壁；而研磨头的载具可采用铝合金或不锈钢材料，并透过镂空设计与加强结构取得重量平衡，达到兼具强度与轻量化适合先进CMP工艺的实用结构。
本实用新型化学机械研磨头改良结构在权利要求书中公布了：1.一种化学机械研磨头改良结构，其特征在于：包括至少一气体分流座、一平衡环架、一弹性膜片、一固定环、以及一膜固定环，其中， 所述气体分流座，设在环状的载具中心上方，其具有至少一个气体流道； 所述平衡环架，套设在所述载具中与所述气体分流座构成气密腔体，侧围环设有膜片座； 所述弹性膜片，设于所述膜片座上，用于弹性伸缩传递压力； 所述固定环，设在所述载具下方，框护在所述膜固定环的外围，以及： 所述膜固定环，位于所述平衡环架下方，其表面具有同心圆配置的多道凹槽并与气压控制相连通，每一道凹槽上间隔设有圆形吸盘状凹槽，而构成环状珠链状排列，所述吸盘状凹槽于吸气模式下吸附晶圆，于正压模式下释放晶圆，并支援分区独立压力调节。
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