绍兴芯链半导体科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉绍兴芯链半导体科技有限公司申请的专利一种用于制备保护膜的装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224183529U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521055649.3,技术领域涉及:B29C41/42;该实用新型一种用于制备保护膜的装置是由请求不公布姓名设计研发完成,并于2025-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于制备保护膜的装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种用于制备保护膜的装置,该装置包括:腔室、晶圆玻璃、旋转盘、固定组件、进料管以及升降机构。腔室用于为制备保护膜提供场所;晶圆玻璃为保护膜制备的载体,所述晶圆玻璃置于所述腔室内;旋转盘用于带动所述晶圆玻璃旋转;固定组件为保护膜提供固定边界,所述固定组件置于所述晶圆玻璃上;进料管用于将制作保护膜所需的料液输送到所述腔室内,所述进料管与所述腔室连通;升降机构用于将制备好的保护膜从所述腔室内取出。本实用新型制备保护膜后可以更快更方便且相对更完整的取下保护膜,可免去传统粘胶带步骤,且方形晶圆玻璃相较于其他形状,对于产出保护膜的利用率会更高,减少材料损耗。
本实用新型一种用于制备保护膜的装置在权利要求书中公布了:1.一种用于制备保护膜的装置,其特征在于,所述装置包括: 腔室,其用于为制备保护膜提供场所; 晶圆玻璃,其为保护膜制备的载体,所述晶圆玻璃置于所述腔室内; 旋转盘,其用于带动所述晶圆玻璃旋转,所述晶圆玻璃置于所述旋转盘上; 固定组件,其为保护膜提供固定边界,所述固定组件置于所述晶圆玻璃上; 进料管,其用于将制作保护膜所需的料液输送到所述腔室内,所述进料管与所述腔室连通; 升降机构,其用于将制备好的保护膜从所述腔室内取出。
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