芯联集成电路制造股份有限公司梁钦超获国家专利权
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龙图腾网获悉芯联集成电路制造股份有限公司申请的专利靶材磁铁起吊装置及物理气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224185752U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521059283.7，技术领域涉及：B66C23/16；该实用新型靶材磁铁起吊装置及物理气相沉积设备是由梁钦超设计研发完成，并于2025-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本靶材磁铁起吊装置及物理气相沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造技术领域，提供了一种靶材磁铁起吊装置及物理气相沉积设备，所述靶材磁铁起吊装置包括：基体、吊装主体、起落组件和起吊座；所述吊装主体的一端可被驱动转动的设置于所述基体；所述起落组件与所述吊装主体转动连接，所述起吊座与所述起落组件连接，所述起吊座上设置有用于与靶材磁铁连接的连接结构；所述吊装主体和所述基体连接处的转动中轴线与所述起落组件和所述吊装主体连接处的转动中轴线平行。本实用新型通过对靶材磁铁起吊装置的改进，使其较为适用于靶材磁铁起吊的使用场景，同时简化靶材磁铁的起吊过程，提高起吊效率，降低劳动强度。
本实用新型靶材磁铁起吊装置及物理气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种靶材磁铁起吊装置，其特征在于，包括：基体、吊装主体、起落组件和起吊座； 所述吊装主体的一端可被驱动转动的设置于所述基体； 所述起落组件与所述吊装主体转动连接，所述起吊座与所述起落组件连接，所述起吊座上设置有用于与靶材磁铁连接的连接结构； 所述吊装主体和所述基体连接处的转动中轴线与所述起落组件和所述吊装主体连接处的转动中轴线平行。
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