威海精讯畅通电子科技有限公司王相获国家专利权
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龙图腾网获悉威海精讯畅通电子科技有限公司申请的专利一种基于MEMS气体传感器微热源获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224185856U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520345427.9,技术领域涉及:B81B7/02;该实用新型一种基于MEMS气体传感器微热源是由王相;王静怡;刘啸设计研发完成,并于2025-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于MEMS气体传感器微热源在说明书摘要公布了:本申请公开了一种基于MEMS气体传感器微热源,其属于气体传感器技术领域,包括衬底,衬底上设有多功能层,衬底内设有导热铜柱;微热源芯片散热慢会导致检测精度降低,在衬底中加入导热铜柱可以加快散热,将MEMS气体传感器的热量横向导出至封装外壳,散热效率提升40%;本申请提供的MEMS气体传感器微热源功耗低,有效降低了热量损耗,温度均匀性好,加热区域集中,热量损失小,制备工艺简单,有利于实现晶圆级批量制造。
本实用新型一种基于MEMS气体传感器微热源在权利要求书中公布了:1.一种基于MEMS气体传感器微热源,包括LTCC基板衬底,其特征在于,所述LTCC基板衬底上设有多功能层,所述LTCC基板衬底内设有导热铜柱。
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