苏州佑伦真空设备科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州佑伦真空设备科技有限公司申请的专利一种双极八字磁控溅射机台的冷却腔获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224186251U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520860046.4，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种双极八字磁控溅射机台的冷却腔是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种双极八字磁控溅射机台的冷却腔在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种双极八字磁控溅射机台的冷却腔，包括对称设置的第一主腔模块和第二主腔模块、夹送运输装置、在中央区域的中转缓存腔室模块，通过可拆卸上固定板和独立控制的升降组件，实现装置维护时不影响主腔室真空环境；冷却缓冲单元与升降组件协同工作，既保证物料冷却效率，又维持工艺腔室的环境稳定性；通过三维夹送装置与带导向斜面的卡爪配合，确保物料传输路径的精确对接；通过限位结构和导向斜面的双重保障，防止物料在升降过程中发生偏移；动态密封组件与温度控制装置的组合，有效隔离工艺环境与机械驱动部件的相互影响；通过模块化设计可适配水冷气冷等多种冷却方式，满足不同工艺需求。
本实用新型一种双极八字磁控溅射机台的冷却腔在权利要求书中公布了：1.一种双极八字磁控溅射机台的冷却腔，其特征在于： 包括对称设置的第一主腔模块2和第二主腔模块3，每个第一主腔模块2、第二主腔模块3内设有独立控制的夹送运输装置9，所述夹送运输装置9可在三维空间移动的传送机构，用于跨腔室转运物料以及设置在中央区域的中转缓存腔室模块4； 所述中转缓存腔室模块4包含： 位于顶部的可拆卸上固定板41，形成设备检修口； 位于底部的下固定板44，其上方设有冷却缓冲单元43，该冷却缓冲单元43集成有温度控制装置并与物料接触面形成热交换界面； 在冷却缓冲单元43一侧的升降料组件42； 其中，所述冷却缓冲单元43的工作面与升降料组件42的运动轨迹形成空间交集，通过夹送运输装置9与升降料组件42的协同运动，实现物料在冷却工位与传输路径间的过渡衔接。
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