温州大学李豪杰获国家专利权
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龙图腾网获悉温州大学申请的专利一种用于磁控溅射设备的多功能可调节靶距转架获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224186254U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202620423567.8，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种用于磁控溅射设备的多功能可调节靶距转架是由李豪杰;邱乐;陈家乐;袁哲渔;钟蓉;郎文昌设计研发完成，并于2026-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于磁控溅射设备的多功能可调节靶距转架在说明书摘要公布了：本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，尤其是涉及一种用于磁控溅射设备的多功能可调节靶距转架，包括靶距转架以及设置在靶距转架上的靶距调节机构，所述靶距调节机构包括传动齿轮组以及若干个靶距伸缩件，所述传动齿轮组包括相互啮合的控制齿轮和动力齿轮，每个所述靶距伸缩件均与控制齿轮传动连接，且靶距伸缩件用于夹持待镀膜零件，所述动力齿轮通过电机驱动，当所述动力齿轮带动控制齿轮转动时靶距伸缩件靠近或远离靶距转架，本实用新型实现在镀膜过程中靶距的精确可调，从而提高镀膜均匀性、工艺灵活性及膜层质量。
本实用新型一种用于磁控溅射设备的多功能可调节靶距转架在权利要求书中公布了：1.一种用于磁控溅射设备的多功能可调节靶距转架，其特征在于：包括靶距转架1以及设置在靶距转架1上的靶距调节机构，所述靶距调节机构包括传动齿轮组以及若干个靶距伸缩件2，所述传动齿轮组包括相互啮合的控制齿轮3和动力齿轮4，每个所述靶距伸缩件2均与控制齿轮3传动连接，且靶距伸缩件2用于夹持待镀膜零件，所述动力齿轮4通过电机驱动，当所述动力齿轮4带动控制齿轮3转动时靶距伸缩件2靠近或远离靶距转架1。
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