江苏微导纳米科技股份有限公司荒见淳一获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利进气管路装置及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224186260U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520599166.3，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型进气管路装置及半导体设备是由荒见淳一设计研发完成，并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本进气管路装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种进气管路装置及半导体设备，包括：外层管，用于与喷淋板连接；外层防打弧组件，设于外层管的内壁且具有绝缘性；内层管，设于外层管内，外层管与内层管之间形成有外层空间，外层防打弧组件位于外层空间内；内层防打弧组件，设于内层管内且具有绝缘性。本实用新型中外层防打弧组件具有绝缘性，能够显著降低电弧的附着和扩散能力。当电弧试图在外层防打弧组件表面传播时，由于外层防打弧组件的高电阻特性，防止气体在内层管内发生电离和打弧。内层防打弧组件具有绝缘性，能够显著降低电弧的附着和扩散能力。当电弧试图在内层防打弧组件表面传播时，由于内层防打弧组件的高电阻特性，防止气体在内层管内发生电离和打弧。
本实用新型进气管路装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种进气管路装置，其特征在于，包括： 外层管； 外层防打弧组件，设于所述外层管的内壁且具有绝缘性； 内层管，设于所述外层管内，所述外层管与所述内层管之间形成有外层空间，所述外层防打弧组件位于所述外层空间内； 内层防打弧组件，设于所述内层管内且具有绝缘性。
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