北京石墨烯研究院;苏州大学;北京大学孙靖宇获国家专利权
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龙图腾网获悉北京石墨烯研究院;苏州大学;北京大学申请的专利一种石墨烯晶圆批量化制备装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224186261U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520846559.X，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种石墨烯晶圆批量化制备装置是由孙靖宇;贾丽;刘忠范;蔡阿利;刘非凡;魏文泽设计研发完成，并于2025-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种石墨烯晶圆批量化制备装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种石墨烯晶圆批量化制备装置，用于在晶圆表面沉积生长石墨烯，包括炉体、载具、进气法兰、第一匀气组件和挡热组件，炉体具有进气端、抽气端及与进气端和抽气端均连通的炉腔，载具设于炉腔，用于放置若干晶圆衬底，第一匀气组件设于炉腔，位于进气法兰和载具之间，挡热组件设于炉腔，位于载具和炉体的抽气端之间，挡热组件用于提高载具靠近抽气端的温度。进气法兰和第一匀气组件配合可使气体均匀流向载具，更易生成层数、表面厚度均匀性良好的石墨烯，挡热组件可提高载具靠近抽气端的温度、使碳源气体裂解更充分，确保沿气体流动方向上石墨烯生长厚度的均匀性。
本实用新型一种石墨烯晶圆批量化制备装置在权利要求书中公布了：1.一种石墨烯晶圆批量化制备装置，用于在晶圆表面沉积生长石墨烯，其特征在于，所述石墨烯晶圆批量化制备装置包括： 炉体10，具有进气端、抽气端以及与所述进气端和所述抽气端均连通的炉腔11； 载具20，设置于所述炉腔11，所述载具20用于放置若干晶圆衬底； 进气法兰40，设置于所述炉体10的进气端，所述进气法兰40用于向所述炉腔11内均匀进气； 第一匀气组件30，设置于所述炉腔11，所述第一匀气组件30位于所述进气法兰40和所述载具20之间，所述第一匀气组件30用于对流过的气体均流； 挡热组件60，设置于所述炉腔11，所述挡热组件60位于所述载具20和所述炉体10的抽气端之间，所述挡热组件60用于提高所述载具20靠近抽气端的温度。
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