拉普拉斯新能源科技股份有限公司刘文韬获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯新能源科技股份有限公司申请的专利内腔结构和反应炉获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224186262U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520866089.3，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型内腔结构和反应炉是由刘文韬;方伟洲;刘宇;梁笑设计研发完成，并于2025-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本内腔结构和反应炉在说明书摘要公布了：本申请涉及光伏和半导体技术领域，尤其涉及一种内腔结构和反应炉，内腔结构包括：内腔腔体，包括炉口端和与炉口端相对的尾端，炉口端的侧壁上设置有第一进气孔和第二进气孔；第一气路组件，包括：第一进气管，一端与第一进气孔连通，另一端被构造成连接气源以向内腔腔体内输送工艺气体；第二气路组件，包括：补气管道，设置在内腔腔体的内侧壁上，补气管道的一端与第二进气孔连通，另一端向朝向尾端方向延伸。通过在腔体的内部设置辅助气路，对腔体内非端部区域进行工艺气体的补充，保证腔体内工艺气体浓度的均匀性，能够提高硅片镀膜的均匀性。
本实用新型内腔结构和反应炉在权利要求书中公布了：1.一种内腔结构，其特征在于，包括： 内腔腔体，包括炉口端和与所述炉口端相对的尾端，所述炉口端的侧壁上设置有第一进气孔和第二进气孔； 第一气路组件，包括： 第一进气管，一端与所述第一进气孔连通，另一端被构造成连接气源以向所述内腔腔体内输送工艺气体； 第二气路组件，包括： 补气管道，设置在所述内腔腔体的内侧壁上，所述补气管道的一端与所述第二进气孔连通，另一端向朝向所述尾端方向延伸； 其中，所述第二进气孔被构造成连接气源以向所述内腔腔体内的非端部区域补充工艺气体。
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