江苏博涛智能热工股份有限公司朱佳豪获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏博涛智能热工股份有限公司申请的专利梯度孔径喷淋板及气体扩散装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224186263U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520924454.1,技术领域涉及:C23C16/455;该实用新型梯度孔径喷淋板及气体扩散装置是由朱佳豪;陶志波;崔恒飞设计研发完成,并于2025-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本梯度孔径喷淋板及气体扩散装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种梯度孔径喷淋板及气体扩散装置,其中喷淋板包括板主体以及形成于板主体并贯通的变径微孔阵列,所述变径微孔阵列的微孔沿第一贯通方向顺次地具有渐缩段、喉部及渐扩段,所述喉部为等内径的。本实用新型通过通过复合式气路拓扑设计,结合变径微孔对气流的层流化调控,显著提升沉积均匀性及工艺稳定性。
本实用新型梯度孔径喷淋板及气体扩散装置在权利要求书中公布了:1.一种梯度孔径喷淋板,其特征在于,包括板主体以及形成于板主体并贯通的变径微孔阵列,所述变径微孔阵列的微孔沿第一贯通方向顺次地具有渐缩段、喉部及渐扩段,所述喉部为等内径的。
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