达波科技(上海)有限公司朱霄获国家专利权
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龙图腾网获悉达波科技(上海)有限公司申请的专利一种PECVD托盘取放专用工具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224186268U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202620381988.9，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型一种PECVD托盘取放专用工具是由朱霄;薛成龙;杨朋辉;李昕;华千慧;王奇设计研发完成，并于2026-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种PECVD托盘取放专用工具在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种PECVD托盘取放专用工具，包括：支撑于托盘下方的承载平台以及与承载平台连接的把手，承载平台包括承载本体以及设于承载本体端部的限位结构，限位结构设有多个且围设抵接于托盘外周，限位结构与承载本体活动连接，以横向远离或靠近承载本体，可实现横向的灵活调节，能够精准适配240mm‑250mm宽度区间内的各类PECVD铝制托盘，覆盖现有主流托盘规格，无需为不同规格托盘单独配置工具，相较于现有多套工具方案，设备投入成本降低，且避免了工具更换带来的时间损耗。同时多个限位结构围设形成与托盘外周轮廓贴合的限位空间，从左右、前后多个方向抵接托盘，使托盘在承载平台上的位移量大大减少，解决现有工具因限位不全导致的托盘滑动、窜动问题。
本实用新型一种PECVD托盘取放专用工具在权利要求书中公布了：1.一种PECVD托盘取放专用工具，其特征在于，包括：支撑于托盘下方的承载平台以及与所述承载平台连接的把手，所述承载平台包括承载本体以及设于所述承载本体端部的限位结构，所述限位结构设有多个且围设抵接于所述托盘外周，所述限位结构与所述承载本体活动连接，以横向远离或靠近所述承载本体。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人达波科技(上海)有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区江山路3699号5幢1层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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