华海清科股份有限公司张金鑫获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利一种用于电化学机械抛光的弹性膜和承载头获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224186321U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520915865.4，技术领域涉及：C25F3/30；该实用新型一种用于电化学机械抛光的弹性膜和承载头是由张金鑫;孟松林;王宇;张洪蛟;金军;左少杰设计研发完成，并于2025-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于电化学机械抛光的弹性膜和承载头在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于电化学机械抛光的弹性膜和承载头，属于晶圆制造技术领域；该弹性膜包括：圆盘状的底板部；直立部，沿所述底板部的边缘竖直向上延伸；所述直立部配置有至少一个水平筋；分隔筋，沿所述底板部向上延伸且位于所述直立部的内侧，以将弹性膜分隔为多个腔室；所述底板部的中心配置有安装孔，所述安装孔的内沿配置有固定筋，以连接电化学抛光的承载头的电连接组件，所述电连接组件设置于弹性膜与电源的电极之间。
本实用新型一种用于电化学机械抛光的弹性膜和承载头在权利要求书中公布了：1.一种用于电化学机械抛光的弹性膜，其特征在于，包括： 圆盘状的底板部； 直立部，沿所述底板部的边缘竖直向上延伸；所述直立部配置有至少一个水平筋； 分隔筋，沿所述底板部向上延伸且位于所述直立部的内侧，以将弹性膜分隔为多个腔室； 所述底板部的中心配置有安装孔，所述安装孔的内沿配置有固定筋，以连接电化学抛光的承载头的电连接组件，所述电连接组件设置于弹性膜与电源的电极之间。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华海清科股份有限公司，其通讯地址为：300350 天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励