海纳半导体(山西)有限公司刘建东获国家专利权
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龙图腾网获悉海纳半导体(山西)有限公司申请的专利用于重掺直拉单晶的掺杂装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224186324U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520922026.5,技术领域涉及:C30B15/04;该实用新型用于重掺直拉单晶的掺杂装置是由刘建东;管世同;肖银平;刘江;杨志超设计研发完成,并于2025-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于重掺直拉单晶的掺杂装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于重掺直拉单晶的掺杂装置,用于重掺直拉单晶的掺杂装置包括:掺杂碗,掺杂碗适于盛放掺杂剂;掺杂罩,掺杂罩包括:掺杂罩本体和导向部,掺杂罩本体呈钟形且其轴向在上下方向上延伸,掺杂碗与掺杂罩本体同轴且与掺杂罩本体内壁顶部相连接,导向部连接于掺杂罩本体的底端,导向部呈环状且在掺杂罩本体的径向上向外且向下延伸设置,导向部在上下方向上与硅溶液间隔设置。由此,通过在掺杂罩本体的底部连接导向部,这样在保证非接触式掺杂的前提下,可以使导向部对一部分逃逸的气体分子进行阻挡和导向,从而可以增大掺杂面积,不仅可以提高掺杂效率,而且可以提高单晶生长的一次良率。
本实用新型用于重掺直拉单晶的掺杂装置在权利要求书中公布了:1.一种用于重掺直拉单晶的掺杂装置,其特征在于,包括: 掺杂碗,所述掺杂碗适于盛放掺杂剂; 掺杂罩,所述掺杂罩包括:掺杂罩本体和导向部,所述掺杂罩本体呈钟形且其轴向在上下方向上延伸,所述掺杂碗与所述掺杂罩本体同轴且与所述掺杂罩本体内壁顶部相连接,所述导向部连接于所述掺杂罩本体的底端,所述导向部呈环状且在掺杂罩本体的径向上向外且向下延伸设置,所述导向部在上下方向上与硅溶液间隔设置。
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