郑州合晶硅材料有限公司吴泓明获国家专利权
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龙图腾网获悉郑州合晶硅材料有限公司申请的专利一种用于超低阻红磷晶棒成长的长晶炉氧化装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224186327U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521008614.4，技术领域涉及：C30B29/02；该实用新型一种用于超低阻红磷晶棒成长的长晶炉氧化装置是由吴泓明;钟佑生;陈志刚;王俊仁;万军召设计研发完成，并于2025-05-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于超低阻红磷晶棒成长的长晶炉氧化装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于超低阻红磷晶棒成长的长晶炉氧化装置包括与副炉室连接的上CDA输送系统和与真空管道连接的下CDA输送系统；上CDA输送系统包括上CDA输送管道、设于上CDA输送管道上的上CDA流量计和上CDA控制阀；下CDA输送系统包括下CDA输送管道、设于下CDA输送管道上的下CDA流量计和下CDA控制阀；副炉室上和主炉室分别连接有氩气输送系统。本申请通过干燥压缩空气与氩气协同作用，使长晶炉内炉壁、热场、真空管道的硅化磷氧化物充分氧化去除，有效避免了开炉取晶棒、炉壁清洁、热场清洁、真空管壁清洁中的爆炸。
本实用新型一种用于超低阻红磷晶棒成长的长晶炉氧化装置在权利要求书中公布了：1.一种用于超低阻红磷晶棒成长的长晶炉氧化装置，所述长晶炉包括主炉室、炉盖和副炉室，所述主炉室上设有真空系统，用于调整所述主炉室压力，所述真空系统包括与所述主炉室连通的真空管道，其特征在于， 所述长晶炉氧化装置包括与所述副炉室连接的上CDA输送系统和与所述真空管道连接的下CDA输送系统； 所述上CDA输送系统包括上CDA输送管道、设于所述上CDA输送管道上的上CDA流量计和上CDA控制阀； 所述下CDA输送系统包括下CDA输送管道、设于所述下CDA输送管道上的下CDA流量计和下CDA控制阀； 所述副炉室和所述主炉室分别连接有氩气输送系统。
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