深圳阿珂法先进科技有限公司董永成获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳阿珂法先进科技有限公司申请的专利一种用于晶圆刻蚀机静电卡盘的光纤温度传感器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224189390U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520905441.X，技术领域涉及：G01K11/32；该实用新型一种用于晶圆刻蚀机静电卡盘的光纤温度传感器是由董永成;何丽设计研发完成，并于2025-05-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆刻蚀机静电卡盘的光纤温度传感器在说明书摘要公布了：本实用新型涉及温度测量技术领域，具体涉及一种用于晶圆刻蚀机静电卡盘的光纤温度传感器，包括：传感器本体、连接件、锁紧件、弹性件和限位件；限位件、弹性件和锁紧件依次端部抵接；锁紧件与待测物体的测温孔锁紧，压缩所述弹性件，弹性件舒展时推动限位件和连接件运动，连接件带动传感器本体深入测温孔内部。本实用新型通过将锁紧件、弹性件和限位件均套接于连接件外壁，通过轴向堆叠而非径向扩展，减少横向尺寸，适配晶圆刻蚀机狭窄的安装环境；弹性件在锁紧件挤压后释放弹力，持续推动限位件及连接件，使传感器本体前端始终紧贴测温孔内壁，即使受振动影响，弹性件的弹力仍能保持接触稳定。
本实用新型一种用于晶圆刻蚀机静电卡盘的光纤温度传感器在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆刻蚀机静电卡盘的光纤温度传感器，其特征在于，包括：传感器本体1、连接件2、锁紧件3、弹性件4和限位件5； 所述连接件2内部设置为中空结构，所述锁紧件3和弹性件4套设于所述连接件2外壁，所述传感器本体1设置于所述连接件2的内部，并与所述连接件2固定连接； 所述限位件5套接于所述连接件2外壁，所述限位件5设置于所述连接件2靠近所述传感器本体1的前端的部分； 所述限位件5、弹性件4和锁紧件3依次端部抵接； 所述锁紧件3与待测物体的测温孔锁紧，压缩所述弹性件4，所述弹性件4舒展时推动所述限位件5和连接件2运动，连接件2带动所述传感器本体1深入测温孔内部。
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