天恒科仪(苏州)光电技术有限公司张宇获国家专利权
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龙图腾网获悉天恒科仪(苏州)光电技术有限公司申请的专利一种高低温探针台用卡盘获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224190070U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520827150.3,技术领域涉及:G01R1/04;该实用新型一种高低温探针台用卡盘是由张宇;孟洁设计研发完成,并于2025-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高低温探针台用卡盘在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种高低温探针台用卡盘,包括壳体,壳体内具有容纳腔;隔热组件设置在容纳腔内;加热部设置在隔热组件的上表面;制冷组件紧贴在加热部的上表面,制冷组件包括液氮盘,液氮盘的两端设有进氮管和出氮管,液氮盘内设有多个阻流柱;导热组件设置在液氮盘的上表面;卡盘设置在导热组件的上表面。本实用新型采用液氮进行制冷的效果更佳,液氮盘的内部设置了多个阻流柱,能均匀的将液氮分散到液氮盘内所有位置,避免单一通道流通,形成通道位置温度偏低,周围温度偏高现象,进一步提升液氮盘的制冷和导热效果;加热部加热后的热量往上传递时,依次经过液氮盘和导热组件传递后将热量传递到卡盘上时温度的均一性较好,制热效果佳。
本实用新型一种高低温探针台用卡盘在权利要求书中公布了:1.一种高低温探针台用卡盘,其特征在于,包括: 壳体1,所述壳体1内具有容纳腔; 隔热组件2,设置在所述容纳腔内; 加热部3,设置在所述隔热组件2的上表面; 制冷组件4,紧贴在所述加热部3的上表面,所述制冷组件4包括液氮盘40,所述液氮盘40的两端设有进氮管41和出氮管42,所述液氮盘40的腔体内设有均匀分布的多个阻流柱43; 导热组件5,设置在所述液氮盘40的上表面; 卡盘6,设置在所述导热组件5的上表面。
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