磊菱半导体设备(江苏)有限公司刘尚书获国家专利权
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龙图腾网获悉磊菱半导体设备(江苏)有限公司申请的专利一种高精密半导体热处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224192395U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521129969.9，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种高精密半导体热处理设备是由刘尚书;汪民;黄伟;施建华设计研发完成，并于2025-06-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高精密半导体热处理设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种高精密半导体热处理设备，涉及半导体加工技术领域，包括加工柜，所述加工柜的正表面一端设有连接槽，所述连接槽的内部一侧设有加热槽，连接槽的内部活动安装有密封盖，且密封盖卡合安装在加热槽的内部一端，所述加热槽的内部设有放置槽。本实用新型中混合后的气体先通过引导杆内部的通孔进行热交换，实现对气体的初步预热或温度调节，避免低温气体直接进入加热槽对原有温度场造成冲击，减少温度波动，然后经热交换后的气体通过分流槽与喷头均匀通入加热槽，配合加热器的稳定控温，可构建更精准、稳定的温度环境，满足高精密半导体热处理对温度控制精度的严苛要求，提升加工过程的可控性与可靠性。
本实用新型一种高精密半导体热处理设备在权利要求书中公布了：1.一种高精密半导体热处理设备，包括加工柜1，其特征在于：所述加工柜1的正表面一端设有连接槽2，所述连接槽2的内部一侧设有加热槽6，连接槽2的内部活动安装有密封盖3，且密封盖3卡合安装在加热槽6的内部一端，所述加热槽6的内部设有放置槽12，所述放置槽12的内部安装有加热器9，所述加热槽6的内部且远离密封盖3的一端活动安装有支撑盘13，所述加热槽6的内部安装有若干引导杆7，且引导杆7的杆身分别活动贯穿安装在支撑盘13的内部，所述放置槽12与加工柜1之间安装有导气机构5，所述支撑盘13与密封盖3之间安装有若干支撑杆8，所述支撑杆8的杆身外侧等距安装有若干限位块10，所述支撑杆8之间安装有若干原料11，且原料11位于限位块10之间。
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