广东芯粤能半导体有限公司罗水宁获国家专利权
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龙图腾网获悉广东芯粤能半导体有限公司申请的专利一种舟具结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224192400U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521074230.2，技术领域涉及：H10P72/10；该实用新型一种舟具结构是由罗水宁设计研发完成，并于2025-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种舟具结构在说明书摘要公布了：本申请公开了一种舟具结构，包括支承架体以及固定设置在支承架体上且呈线性阵列布置的多个支承件，相邻两个支承件之间设有用于容置晶圆的承载间隙，承载间隙包括安装间隙以及扩流间隙，本申请实施例中，采用上述的一种舟具结构，于支承架体上的承载间隙内进一步设置扩流间隙，增大了相邻晶圆之间的中心间距，从而延长工艺气体的流通路径并增加工艺气体与晶圆的接触时间，降低局部气体浓度差异，使得工艺气体的扩散更加均匀，与晶圆进一步反应能够有效改善氧化均匀性，提高晶圆的表面加工质量。
本实用新型一种舟具结构在权利要求书中公布了：1.一种舟具结构，其特征在于，包括： 支承架体； 支承件，于所述支承架体上设置有多个； 其中，多个所述支承件沿所述支承架体的长度方向呈线性阵列布置； 于所述支承架体的长度方向上，相邻两个所述支承件之间设有用于容置晶圆的承载间隙，所述承载间隙包括沿所述支承架体的长度方向分层布置的安装间隙以及扩流间隙。
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