江西汉可泛半导体技术有限公司刘翠翠获国家专利权
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龙图腾网获悉江西汉可泛半导体技术有限公司申请的专利一种硅片生产用的抓取装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114582789B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210207543.5,技术领域涉及:H10P72/76;该发明授权一种硅片生产用的抓取装置是由刘翠翠;徐亮设计研发完成,并于2022-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片生产用的抓取装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种硅片生产用的抓取装置,包括:连接板;若干个支架,彼此间隔的设置在连接板上;若干个夹持机构,包括第一驱动装置、两个支撑件、若干个手指夹杆和若干个辅助支撑装置,手指夹杆上设置有卡槽,若干个手指夹杆分别设置在两个支撑件两侧,且每个支撑件两侧的手指夹杆上的卡槽相互垂直,第一驱动装置倾斜的设置在支架上用于驱动两个支撑件远离或靠近。本发明采用模拟人的手指方式固定硅片的四个边角,以达到夹住的目的,同时对硅片进行校正动作,且在与硅片接触时,最大限度的减少对硅片的磨损,减少不良率;对硅片放置时的定位要求远远低于吸盘的方式,这样降低了定位的难度和对配合的硅片放置的托盘等机构尺寸精度的要求。
本发明授权一种硅片生产用的抓取装置在权利要求书中公布了:1.一种硅片生产用的抓取装置,其特征在于,包括: 第一连接板10; 若干个支架2,彼此间隔的设置在所述第一连接板10上; 若干个夹持机构3,一个所述夹持机构3设置在一个所述支架2上,所述夹持机构3包括第一驱动装置31、两个支撑件32、若干个手指夹杆33和若干个辅助支撑装置34,所述手指夹杆33上设置有卡槽331,若干个所述手指夹杆33分别设置在两个所述支撑件32两侧,且每个所述支撑件32两侧的手指夹杆33上的卡槽331相互垂直,所述第一驱动装置31倾斜的设置在所述支架2上用于驱动两个所述支撑件32远离或靠近,所述辅助支撑装置34用于对所述支撑件32移动起到导向和支撑作用; 若干个固定装置4和若干个升降装置5,所述固定装置4用于将硅片固定在载板上,所述升降装置5用于驱动所述固定装置4固定在载板上或者远离载板,所述固定装置4包括用金属材质制成的销钉41和锯齿压块42,所述锯齿压块42设置在所述销钉41上,所述升降装置5包括若干个第二驱动装置51、若干个连接件52、若干个套杆53和若干个电磁铁54,所述第二驱动装置51用于驱动所述连接件52上下运动,所述套杆53设置在所述连接件52上,所述电磁铁54设置在所述套杆53内。
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