深圳国微福芯技术有限公司杜杳隽获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳国微福芯技术有限公司申请的专利版图的光学临近修正方法、存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115755518B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211543303.9,技术领域涉及:G03F1/36;该发明授权版图的光学临近修正方法、存储介质是由杜杳隽;裴卓然;肖岗;陈红设计研发完成,并于2022-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本版图的光学临近修正方法、存储介质在说明书摘要公布了:本发明公开了一种版图的光学临近修正方法、存储介质。其中版图的光学临近修正方法,包括:基于所述初始分块,建立初始分块对应的扩展分块,所述扩展分块包括尺寸小于初始分块的核心区,以及围绕所述核心区设置的内缓冲区;依据所述初始分块的优先级,对初始分块对应的扩展分块进行OPC的循环迭代运算;当OPC的循环迭代运算未进行到最后一轮循环迭代运算时,对相邻两个扩展分块的重叠运算区内的几何图形的顶点位置取平均值,再进行下一轮循环迭代运算;否则,对相邻两个扩展分块的重叠运算区内的几何图形的顶点位置取平均值,并将内缓冲区作为所述核心区的边界条件,仅对所述核心区进行最后一轮OPC的循环迭代运算。本发明可以实现分块的边缘的收敛。
本发明授权版图的光学临近修正方法、存储介质在权利要求书中公布了:1.一种版图的光学临近修正方法,其特征在于,包括: 对版图进行分块处理,得到初始分块,并定义所述初始分块的优先级,使得每一个分块的优先级与其四周的分块的优先级均不同; 基于所述初始分块,建立初始分块对应的扩展分块,所述扩展分块的尺寸大于所述初始分块,所述扩展分块包括尺寸小于初始分块的核心区,以及围绕所述核心区设置的内缓冲区; 依据所述初始分块的优先级,对初始分块对应的扩展分块进行OPC的循环迭代运算;所述扩展分块进行OPC的循环迭代运算时,围绕各扩展分块的内缓冲区设置一外缓冲区,将所述扩展分块及扩展分块对应的外缓冲区作为一个分块进行OPC的循环迭代运算,所述内缓冲区靠近外缓冲区的部分与外缓冲区为相邻两个扩展分块的重叠运算区; 当OPC的循环迭代运算未进行到最后一轮循环迭代运算时,每次OPC的循环迭代运算完成后,对相邻两个扩展分块的重叠运算区内的几何图形的顶点位置取平均值,再进行下一轮循环迭代运算; 当OPC的循环迭代运算为最后一轮循环迭代运算时,对相邻两个扩展分块的重叠运算区内的几何图形的顶点位置取平均值,并将内缓冲区作为所述核心区的边界条件,仅对所述核心区进行最后一轮OPC的循环迭代运算。
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