深圳博升光电科技有限公司吴辰阳获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳博升光电科技有限公司申请的专利实现特定点阵图形的二维分束衍射光栅制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115826116B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211203667.2,技术领域涉及:G02B5/18;该发明授权实现特定点阵图形的二维分束衍射光栅制备方法是由吴辰阳;黄选纶;王嘉星设计研发完成,并于2022-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本实现特定点阵图形的二维分束衍射光栅制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种实现特定点阵图形的二维分束衍射光栅制备方法,分别根据x、y方向实际所需光斑阵列衍射级次,结合衍射效率和衍射级均匀性误差,构建第一代价函数cost_x、第二代价函数cost_y;分别通过最小化所述第一代价函数cost_x、第二代价函数cost_y获得x、y方向优化后的相位变化点空间调制坐标;对所述x、y方向优化后的相位变化点空间调制坐标进行正交相乘展开,获得正交的二维衍射光栅结构参数;通过至少一种图形变换方式对所述正交的二维光栅结构进行处理,获得最终的二维衍射光栅结构参数和刻蚀深度,并生成光刻掩模版;根据所述光刻掩模版对衬底进行微纳加工,获得二维分束衍射光栅元件。
本发明授权实现特定点阵图形的二维分束衍射光栅制备方法在权利要求书中公布了:1.一种实现特定点阵图形的二维分束衍射光栅制备方法,其特征在于,该方法包括: 分别根据方向实际所需光斑阵列衍射级次,结合衍射效率和衍射级均匀性误差,构建第一代价函数、第二代价函数; 分别通过最小化所述第一代价函数、第二代价函数获得、y方向优化后的相位变化点空间调制坐标; 对所述、方向优化后的相位变化点空间调制坐标进行正交相乘展开,获得正交的二维衍射光栅结构参数; 通过至少一种图形变换方式对所述正交的二维光栅结构进行处理,获得最终的二维衍射光栅结构参数和刻蚀深度,并生成光刻掩模版; 根据所述光刻掩模版对衬底进行微纳加工,获得二维分束衍射光栅元件; 所述分别通过最小化所述第一代价函数、第二代价函数获得、y方向优化后的相位变化点空间调制坐标,具体为:采用计算机迭代优化算法最小化所述第一代价函数、第二代价函数获得、y方向优化后的相位变化点空间调制坐标;所述计算机迭代优化算法包括模拟退火迭代优化算法、梯度下降迭代优化算法; 所述对所述、方向优化后的相位变化点空间调制坐标进行正交相乘展开,获得正交的二维衍射光栅结构参数,具体为:通过优化得到的方向和方向优化后的相位变化点空间调制坐标确定、方向的一维光栅结构,之后,将所述方向和方向一维光栅正交方向展开,获得正交的二维光栅结构; 所述图形变换方式包括错切变换、旋转变换、图形拼接。
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