深圳市恒运昌真空技术股份有限公司范天赐获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市恒运昌真空技术股份有限公司申请的专利等离子体产生装置及等离子体加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224205298U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520899792.4，技术领域涉及：H05H1/26；该实用新型等离子体产生装置及等离子体加工设备是由范天赐;刘涛设计研发完成，并于2025-05-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体产生装置及等离子体加工设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种等离子体产生装置及等离子体加工设备，涉及等离子体加工技术领域，其中，该等离子体产生装置包括等离子体产生主体以及多个输气装置，等离子体产生主体具有多个进气口和一个等离子体出口，以及连通多个进气口和一个等离子体出口的多个等离子体产生腔室，每个输气装置与一进气口连通，以使输气装置分别向对应的等离子体产生腔室输送工艺气体。等离子体产生腔室用于工艺气体解离并且生成等离子体，任意两个等离子体产生腔室的出气端可通断连接，以使两个等离子体产生腔室中解离的等离子体可以汇聚后从等离子体出口排出。每个等离子体产生腔室中的气体流量、压力和成分都可以独立控制，以使系统管理更加高效。
本实用新型等离子体产生装置及等离子体加工设备在权利要求书中公布了：1.一种等离子体产生装置，其特征在于，包括： 多个输气装置；以及 等离子体产生主体，所述等离子体产生主体具有多个进气口、一个等离子体出口以及连通多个所述进气口与一个所述等离子体出口的多个等离子体产生腔室，每一所述输气装置与一所述等离子体产生腔室的进气口可通断连接，所述输气装置用于向所述等离子体产生腔室输入工艺气体，所述等离子体产生腔室用于将输入的工艺气体解离并生成等离子体，任意两个所述等离子体产生腔室可通断连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市恒运昌真空技术股份有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101, 201, 301；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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