西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)薛珺天获国家专利权
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龙图腾网获悉西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)申请的专利圆柱凸轮驱动的硅片矫正机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224205605U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520911164.3,技术领域涉及:H10P72/30;该实用新型圆柱凸轮驱动的硅片矫正机构是由薛珺天;申祐齐;折飞;黄晋;陈嘉荣设计研发完成,并于2025-05-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本圆柱凸轮驱动的硅片矫正机构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及硅片矫正机构技术领域,具体涉及一种圆柱凸轮驱动的硅片矫正机构,主要解决现有硅片矫正机构存在的矫正精度较低、矫正效率较低、寿命较短以及易对硅片产生污染的技术问题。本机构包括机架、传动轴、驱动组件、圆柱凸轮、矫正夹具和联动件,驱动组件驱动传动轴旋转,从而带动圆柱凸轮旋转,进而在圆柱凸轮与联动件的配合下实现矫正夹具的相互靠近或远离。本机构通过圆柱凸轮的单向旋转即可实现矫正夹具的往复运动,能够使矫正夹具准确到达预设位置,同时也能够提高矫正效率;本机构的圆柱凸轮与联动件之间属于硬性接触,磨损较小,能够保证使用寿命;同时也不会出现磨损造成的粉尘,所以能够避免对硅片造成污染。
本实用新型圆柱凸轮驱动的硅片矫正机构在权利要求书中公布了:1.一种圆柱凸轮驱动的硅片矫正机构,其特征在于,包括: 机架1; 传动轴2,其沿左右方向布置且转动安装在所述机架1上; 驱动组件3,其安装在所述机架1上且用以带动所述传动轴2旋转; 圆柱凸轮4,其设有两个且分别固定套接在所述传动轴2的两端部,两个圆柱凸轮4左右对称分布且每个圆柱凸轮4的圆周面上皆形成有曲线轨道41; 矫正夹具5,其对应圆柱凸轮4设有两套且左右对称分布,每套矫正夹具5皆安装在所述机架1上且能沿左右方向滑动; 联动件6,其对应矫正夹具5设有两个,所述联动件6与对应的矫正夹具5固定连接且活动卡接在对应的圆柱凸轮4的曲线轨道41上。
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