苏州联讯仪器股份有限公司王勇获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州联讯仪器股份有限公司申请的专利一种晶圆的定位装置及定位寻边系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224205615U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520590900.X,技术领域涉及:H10P72/50;该实用新型一种晶圆的定位装置及定位寻边系统是由王勇;唐仁伟;谢智寅设计研发完成,并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆的定位装置及定位寻边系统在说明书摘要公布了:本申请涉及一种晶圆的定位装置及定位寻边系统,包括顶升机构和旋转机构;所述旋转机构包括转盘和调节电机;所述调节电机设置在所述转盘下方,用于驱动所述转盘旋转;所述顶升机构包括驱动组件、顶升平台和第一吸附装置,所述驱动组件用于驱动所述顶升平台升降;所述顶升平台围绕所述转盘外周设置;所述第一吸附装置包括多个均匀排布在所述顶升平台上的吸盘组件。本申请顶升平台通过第一吸附装置对晶圆下表面进行吸附,有利于对具有翘曲问题晶圆的定位,确保晶圆在移动过程中的稳定性,避免晶圆晃动或位移,提高了定位装置对不同尺寸和形状晶圆的适应性。
本实用新型一种晶圆的定位装置及定位寻边系统在权利要求书中公布了:1.一种晶圆的定位装置,其特征在于,包括顶升机构和旋转机构; 所述旋转机构包括转盘和调节电机;所述调节电机设置在所述转盘下方,用于驱动所述转盘旋转; 所述顶升机构包括驱动组件、顶升平台和第一吸附装置,所述驱动组件用于驱动所述顶升平台升降;所述顶升平台围绕所述转盘外周设置;所述第一吸附装置包括多个均匀排布在所述顶升平台上的吸盘组件。
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