江苏汇成光电有限公司惠秋伟获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏汇成光电有限公司申请的专利一种真空吸附式晶圆取放夹具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224205629U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520893949.2，技术领域涉及：H10P72/78；该实用新型一种真空吸附式晶圆取放夹具是由惠秋伟;刘祥峰;薛冬霞;谭宝健设计研发完成，并于2025-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空吸附式晶圆取放夹具在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种真空吸附式晶圆取放夹具，包括由上夹持部和下夹持部通过一侧端部连接形成的夹体，所述夹体内设有中空腔室，上夹持部顶部上设有控制孔，所述下夹持部的端部设有吸附孔，所述控制孔与吸附孔均通过中空腔室外接负压，当上夹持部和下夹持部的端部贴合时，上夹持部和下夹持部之间存在间隙。本实用新型通过真空吸附与间隙设计实现晶圆稳定取放，结合密封垫缓冲接触应力，有效避免晶圆损伤，同时定位销和弧形边缘设计提升了操作精度与安全性，解决了传统夹具夹持力不均导致的晶圆脱落或损坏问题。
本实用新型一种真空吸附式晶圆取放夹具在权利要求书中公布了：1.一种真空吸附式晶圆取放夹具，包括由上夹持部1和下夹持部2通过一侧端部连接形成的夹体3，其特征在于：所述夹体3内设有中空腔室4，上夹持部1顶部上设有控制孔5，所述下夹持部2的端部设有吸附孔6，所述控制孔5与吸附孔6均通过中空腔室4外接负压，当上夹持部1和下夹持部2的端部贴合时，上夹持部1和下夹持部2之间存在间隙。
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