长鑫存储技术有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利探针测试机及其载台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111190034B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201811354732.5，技术领域涉及：G01R1/067；该发明授权探针测试机及其载台是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2018-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本探针测试机及其载台在说明书摘要公布了：本发明公开一种探针测试机及其载台。该载台包括顶座，包括朝下的吸附平面；位于所述吸附平面下方的底座，包括向上伸出的抽气管；位于所述吸附平面与底座之间的承载座，包括套装在所述抽气管上且竖直贯穿所述承载座的吸附孔，以及设置在所述吸附平面下方且朝向所述吸附平面的吸附口；用于连通真空源与所述吸附孔的第一通道；以及用于连通所述真空源与所述吸附口的第二通道；其中，所述承载座能沿所述抽气管滑动，所述第一通道长于所述第二通道。采用该载台的探针测试机在测试晶圆过程中真空源出现故障时能避免探针与晶圆互作用而导致的晶圆或探针损坏。
本发明授权探针测试机及其载台在权利要求书中公布了：1.一种探针测试机的载台，其特征在于， 包括： 顶座，包括朝下的吸附平面； 位于所述吸附平面下方的底座，包括向上伸出的抽气管； 位于所述吸附平面与所述底座之间的承载座，包括套装在所述抽气管上且竖直贯穿所述承载座的吸附孔，以及设置在所述吸附平面下方且朝向所述吸附平面的吸附口； 用于连通真空源与所述吸附孔的第一通道； 以及 用于连通所述真空源与所述吸附口的第二通道； 其中，所述承载座能沿所述抽气管滑动，所述第一通道长于所述第二通道。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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